Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373 à vendre en France
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Vendu
ID: 9206373
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Coater / Developer, 12"
Includes chem cabinet
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des résultats ultra-propres avec un meilleur débit et des économies de coûts. Ce système utilise des lasers de haute précision pour séparer précisément les zones positives ou négatives d'un motif photorésist donné les unes des autres rapidement et précisément. TEL Clean Track Isemblus dispose d'un bloc de base optique réglable qui peut modifier individuellement les conditions d'exposition et les caractéristiques du laser, ce qui permet de réaliser des analyses très précises. L'unité utilise également une conception modulaire pour améliorer la flexibilité de configuration et charger et décharger commodément de grands substrats. La machine est capable de réaliser des motifs avec une largeur de ligne minimale et un espacement de respectivement 1,4 et 2 microns, avec un faisceau de focalisation fin capable de résoudre des caractéristiques de 0,5 micron. L'unité est facilement contrôlée par un logiciel d'interface utilisateur graphique (UI), permettant une utilisation facile de l'opérateur et des réglages en temps réel. L'espacement précis des prises de vue laser améliore encore la répétabilité et la fiabilité des essais. TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est conçu pour fonctionner de manière stable, assurant la quantité et la qualité nécessaires à la production. Clean Track Isemblus utilise des équipements de nettoyage à sec spécialisés, permettant un nettoyage efficace du substrat et résiste même dans des environnements de production à haut volume. L'outil utilise une structure de filtrage en trois étapes pour un meilleur contrôle des particules, ce qui permet d'améliorer les niveaux de contamination et de réduire les coûts et les temps d'arrêt associés au nettoyage. La détection active de la contamination est mise en œuvre, ce qui permet des ajustements continus de l'actif au besoin. De plus, le système TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track, qui intègre la microscopie électronique à balayage en temps réel, transmet des images à haute résolution pour une analyse et une résolution rapides des défauts. Ce modèle de détection intégré élimine la nécessité de retirer l'échantillon de la chaîne de production, ce qui réduit le temps et le coût. L'équipement utilise en outre un système logiciel pour ajuster automatiquement les niveaux et les caractéristiques telles que les positions de mise au point et de tir en fonction des valeurs prédéterminées, ce qui permet un degré de précision encore plus élevé. Dans l'ensemble, TEL Clean Track Isemblus est une unité de photorésistance avancée conçue pour fournir des résultats ultra-propres avec un meilleur débit et des économies de coûts. Avec ses lasers précis, les réglages automatisés des fonctionnalités, l'imagerie haute résolution et la détection de contamination active, cette machine est une solution idéale pour les environnements de production qui nécessitent une haute qualité et répétabilité.
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