Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267952 à vendre en France
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Vendu
ID: 9267952
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
(2) Coater / (3) Developer system, 12"
Mainframe with controller
(4) FOUPS and Carrier station
SHINWA T&H-ME-1-1AZAZAZ-01 Temperature and humidity controller
SMC INR-244-260A-2 Temperature Controller Unit (TCU)
Coater unit (2-1, 2-2):
(10) Dispense nozzles
With temperature controlled line: HPT 106-2 Pump
PR Suck-back valve type: (20) AMC Suck-back valve
Degasing system for solvent (PCS Pumps)
Programmable side rinse:
PR Nozzle: (10) Bottles
Solvent 1 supply: CCSS
Solvent 2 supply: Local canister tank 1 and 2
Photo resist temperature control system
Direct drain type
Developer unit:
NLD Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
Degasing system for developer (PCS Pumps)
Developer supply: CCSS
DIW Supply: CCSS
Developer temperature control system
Direct drain type
Chemical cabinets:
COAT Cabinet
2-DEV Cabinets
AC Power box: 200 / 220 V
Full-load current: 152 Amps
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance puissant et automatisé adapté à diverses exigences d'application. Le système dispose de haute performance, contrôle efficace des processus de photorésistance et des options flexibles de chargement/déchargement du substrat. Il fournit des résultats économiques et exceptionnels dans la production par lots. Pour garantir une performance optimale, l'unité fournit des processus de nettoyage et de séchage automatisés pour garantir des résultats et une efficacité supérieurs. La machine dispose d'un chargeur de cassettes à commande robotisée pour charger/décharger avec précision jusqu'à 20 plaquettes à la fois. L'outil utilise également une technologie avancée de revêtement et de cuisson en ligne, afin de réduire le nombre d'étapes manuelles nécessaires. En outre, il dispose de capacités sophistiquées de détection de défauts et de réglage automatique. L'actif utilise jusqu'à six revêtements de spin, qui offrent une gamme de traitement photorésist. Ces options comprennent une seule couche, double face, 20 ± 1 um de remplissage d'espace, la mesure de l'épaisseur résiduelle du film, et le contrôle de drycoating. Le spin coater comprend également un en-tête d'image standard de l'industrie, conçu pour assurer un volume mort minimum et la formation minimale de défauts de surface. De plus, le modèle TEL Clean Track Isemblus est un excellent choix pour les applications nécessitant une résolution de motif avancée, avec une capacité exceptionnelle de contrôle des fonctionnalités et une livraison uniforme du substrat. Sa grande stabilité et sa répétabilité permettent une production par lots efficace et des économies supplémentaires. L'équipement offre également une solution logicielle intégrée pour gérer le processus de production via une interface utilisateur graphique. Le logiciel intégré réduit l'intervention manuelle au minimum et comprend une base de données interne, qui aide à gérer le flux de processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est une solution de photorésistance idéale pour diverses exigences d'application. Il offre un contrôle du temps de processus supérieur, d'excellentes capacités de contrôle des fonctionnalités et une précision de détection des défauts supérieure. De plus, la solution logicielle intégrée simplifie le processus de production et garantit un rendement et une répétabilité élevés.
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