Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9294230 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour la production de lithographie de pointe. Il offre des performances et une fiabilité robustes dans des substrats allant de 200nm à 40µm. Ce système dispose d'une technologie de revêtement avancée qui assure un revêtement uniforme des résistances à travers la plaquette. Il fournit également une excellente formation de couche manutentionnée et un détail de résistance fine idéal pour les caractéristiques critiques. La conception automatisée de l'unité permet un contrôle précis de la vitesse de distribution de la résistance et permet une montée en puissance rapide des processus et un fonctionnement stable sur de longues périodes. Une seule source d'exposition offre des formes polyvalentes et quatre puissances de source, de haute énergie à faible, assurant des rendements de processus plus élevés et des performances de l'appareil améliorées. TEL Clean Track Isemblus est équipé d'une variété d'outils et d'options pour assurer une intégration efficace des processus. L'outil de contrôle des défauts encastrés (EDI) détecte les défauts de surface et encastrés qui sont ensuite marqués dans la résine. Cette inspection rapide en temps réel est conçue pour garantir des substrats sans défaut. Il dispose également de capacités de diagnostic de pointe qui, sans perturbations, fournissent des informations détaillées pour adapter les conditions de processus qui améliorent la fiabilité de conception des plaquettes. L'actif offre également une station de gravure intégrée pour la fabrication directe de films de résistance avec sa technologie avancée de gravure par plasma. Les opérateurs peuvent accéder à l'outil de gravure intégré directement à partir du panneau de commande principal, ce qui facilite l'exécution des deux processus sur la même cassette de plaquettes. Cette solution de gravure offre également de faibles niveaux de contamination, une manipulation facile et des temps de virage plus rapides. Le système TOKYO ELECTRON Clean Track de Tokyo offre une plate-forme tout-en-un pour la production de lithographie de pointe, permettant un rendement accru, une fiabilité accrue et un débit plus rapide. Avec ses caractéristiques traditionnelles et innovantes, Clean Track Isemblus offre une solution haute performance pour les applications de lithographie critiques.