Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9397044 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance qui permet la formation sans vide de couches traces avec une largeur étroite et des caractéristiques de fréquence supérieures en combinant la technologie propriétaire TEL Clean Track de la société et ses processus de formation de conducteurs discrets. Le système utilise des tirants de fils légers et faiblement vibrants pour assurer un transport linéaire ultra-précis de l'étage du substrat. Dans un premier temps, avant d'utiliser TOKYO ELECTRON Clean Track, le substrat est revêtu d'une couche de résine photosensible, qui est ensuite exposée à la lumière ultraviolette (UV). Cela permet à la couche de résine photosensible de durcir sélectivement, ce qui permet de créer des motifs à volonté. Ensuite, l'étape suivante du procédé consiste à développer la couche de résine photosensible modelée, qui expose le substrat métallique sous-jacent. La couche de photorésist développée agit comme un masque de protection, empêchant la gravure du métal où elle est appliquée. Ensuite, la gravure du métal est effectuée à l'aide d'une unité de gravure à base de plasma, dans laquelle la surface du métal est exposée à une combinaison de gaz tels que le chlore et l'azote. Les gaz de plasma et de gravure permettent de libérer efficacement des ions énergétiques qui réagissent avec les espèces réactives du métal, formant des amas d'ions volatils, qui attaquent rapidement le métal. Le dernier procédé consiste à déposer une fine couche conforme de matériau isolant sur la surface de la couche métallique gravée. Ce matériau isolant est électriquement tolérant et est utilisé pour l'isolation électrique afin d'assurer des performances électriques supérieures. Il empêche également le développement de la susceptance et élimine le bruit. La combinaison de la photorésistance, de la gravure au plasma et du dépôt isolant permet à Clean Track de générer des motifs à l'échelle du micron avec des performances électriques exceptionnelles. Cette machine est maintenant largement utilisée dans diverses applications électroniques et photoniques, y compris la miniaturisation dans les systèmes de communication et les interconnexions haute densité.
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