Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399 à vendre en France
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Vendu
ID: 9404399
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Coater / Developer system, 12"
Single block
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Track 1:
(2) COT Cups
(3) Developper cups
Track 2:
Resist reduction: RRC
Dev nozzle: SH Nozzle
Resist pump:
(2) RDS 10 ml
(6) RDS 4 ml
Oven:
COT: (3) CLHP
PEB: (4) CLHP
Post bake:
(4) LHP
(2) TAD
Track chemical:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance utilisé pour la production de dispositifs de circuits intégrés. Ce système permet la mise en évidence lithographique rigoureuse de caractéristiques étroites et précises sur une plaquette de matériau semi-conducteur. Cette technologie permet de fournir avec précision des motifs de circuits haute résolution aux dimensions critiques. L'unité est composée de trois composants principaux : un stepper/scanner, une piste/module photorésist, et un module de banc humide. Le pas/scanner fournit la source lumineuse exigeante pointée avec précision vers les plaquettes à modeler et assure le bon positionnement de la source lumineuse. La piste/module photorésist contrôle l'application du liquide photorésist utilisé pour créer le motif de circuit sur la plaquette. Ce matériau est appliqué dans une épaisseur spécifiée et doit être conforme à des paramètres stricts pour assurer la précision des motifs. Enfin, le module de banc humide traite le traitement chimique de la plaquette par durcissement de la résine photosensible, gravure et autres procédés - le tout réalisé avec une précision absolue pour obtenir les résultats souhaités. Afin d'obtenir les motifs les plus précis sur la plaquette, la machine doit être correctement calibrée. Le pas/scanner doit être maintenu avancé et correctement aligné, avec tous les composants contrôlés par défaut pour garantir une performance optimale. La piste/module photorésist doit être maintenue propre, à l'abri de tout contaminant qui nuirait à l'uniformité de l'application photorésiste. Enfin, le module du banc humide doit être maintenu dans un état optimal, en veillant à ce que tous les réservoirs et tuyaux soient exempts de toute accumulation et à ce que tous les produits chimiques soient entreposés et surveillés correctement. En résumé, TEL Clean Track Isemblus est un outil 3 en un qui est capable de fournir avec précision des modèles de circuits à haute résolution avec la plus grande précision possible. Cet actif nécessite un degré élevé d'entretien et un étalonnage approprié afin d'assurer la précision des motifs produits.
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