Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5
ID: 9198152
Coater / Developer system, 6" Process: PEP(D).
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés avancés de lithographie et de fabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise une technique modelante unique connue comme HxP (le Haut-X Mouvement Modelant) pour garantir des résultats uniformes, à haute résolution. TEL Clean Track Mark 5 utilise un système de pas doux optimisé, offrant des masques très précis avec une densité élevée, des largeurs de lignes courtes et des champs de transparence élevée. L'unité pas à pas est constituée de plusieurs composants, dont un modulateur acousto-optique (AOM), une Objective Lens Machine (OLS), un étage pas à pas et un étage de polarisation. L'AOM est conçu pour une fabrication rapide et efficace du masque, tandis que l'OLS offre une précision et des performances d'imagerie accrues. L'étage pas à pas assure des mouvements stables et précis pendant l'exécution du processus, tandis que l'étage de polarisation augmente les performances globales en optimisant le calibrage de l'outil pas à pas. Le processus HxP de l'actif intègre une méthode de photorésistance en trois étapes. Tout d'abord, un premier agencement de circuit est imprimé sur la plaquette. Ensuite, la plaquette est biseautée afin de créer un écart de champ à champ uniforme, ce qui permet de minimiser le temps d'exposition à l'étape suivante. Enfin, l'exposition aux photomasques est réalisée en utilisant une technique de balayage laser pour assurer la qualité et la précision. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 est conçu pour le débit et la précision, optimisant la précision du processus pour fournir des résultats uniformes et précis sur les structures à haut rapport d'aspect et verticales. Le modèle est automatisé et dispose de réglages d'imagerie intégrés, tels que des optimisations de mode d'imagerie basées sur des recettes. En outre, l'équipement dispose d'une base de données basée sur la bibliothèque, permettant aux utilisateurs de stocker des recettes connues pour une récupération rapide et facile. En plus de ses caractéristiques avancées et de ses caractéristiques précises, Clean Track Mark 5 est également conçu avec la sécurité comme une priorité absolue. Il utilise un système unique de collecte de poussière pour une sécurité maximale, empêchant l'accumulation de particules dangereuses dans l'espace de travail de la salle blanche. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 est une unité de photorésistance avancée, conçue pour fournir aux utilisateurs précision et précision, ainsi qu'une sécurité accrue. Son processus HxP unique garantit des résultats uniformes et optimaux, tandis que ses fonctionnalités automatisées et sa base de données basée sur la bibliothèque rendent la machine à la fois conviviale et efficace.
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