Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz
ID: 9302022
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz est un équipement de photorésistance de pointe pour la mise en oeuvre de circuits intégrés sur des substrats semi-conducteurs. Il est entièrement compatible avec les modèles 5V, 0,25 micron et est conçu pour les plus hauts niveaux de rendement et de performance. Ses caractéristiques avancées comprennent un système d'alignement à triple purge optimisé, un aligneur de grille bi-mode et une unité anti-collision intégrée. La machine d'alignement à triple purge permet un enregistrement précis des repères d'alignement à quelques microns près. Ceci permet d'assurer la précision et de minimiser la perte de précision de mise en oeuvre causée par le déplacement du substrat cible. En plus de la précision d'alignement fine, l'alignement de grille bi-mode offre une précision accrue de l'alignement à partir de trois dimensions. Cette caractéristique garantit que les positions de motifs entiers sont traitées avec précision selon le dessin de conception prédéterminé. L'outil dispose également d'un atout anti-collision intégré. Il empêche tout contact entre l'étage de balayage et le substrat semi-conducteur en utilisant un certain nombre de capteurs optiques. De plus, il arrête les opérations si un contact possible entre les deux systèmes est détecté, permettant une prévention efficace des dommages au substrat. Le Mark 5Vz est le modèle photorésist le plus avancé du marché, offrant la vitesse et la précision les plus élevées. Sa conception optimisée élimine les erreurs, réduit la complexité et augmente le taux de rendement. Son équipement anti-collision permet de s'assurer que les motifs sont correctement générés, évitant ainsi des dommages coûteux au substrat. Cela en fait un choix idéal pour la production moderne de circuits intégrés de haute précision.
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