Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #9158032 à vendre en France
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ID: 9158032
Taille de la plaquette: 4"-12"
Coater / Developer system, 4"-12"
Either silicon wafer substrate or LED sapphire substrate
Windows GUI scheduler software with Up to date indutrial PC controller
High speed SATA SSD storage system with RAID feature
Wafer level recipe processing and command
Real time process log
Online communication (SECS/GEM)
Group monitoring
Either uni-cassette (open cassette) or SMIF (3 SUCs or 4 SUCs) Integrated CSB
Wafer flow modification (Left to right or Right to left)
Step / Scanner interface modification (ASML, Nikon, Canon, SVGL)
Integrated photo resist dispense monitoring system
Integrated chemical dispense monitoring system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7/Mark 8 est un équipement de photorésistance doté d'une technologie de pointe pour la création de dispositifs semi-conducteurs. C'est un système de lithographie de précision entièrement automatisé qui est capable de transférer des motifs exceptionnellement détaillés sur une plaquette de silicium. L'unité de photorésistance Mark 7/8 offre des fonctionnalités telles qu'un scanner grand format et un balayage de fréquence uniforme, permettant une imagerie uniforme, une exposition longue longueur d'onde et un recouvrement rapide et supérieur. La Mark 7/8 est dotée d'une grande précision, d'une grande vitesse et d'une piste propre très fiable. Il est équipé d'un étage de précision entraîné par un servomoteur d'entraînement direct, permettant une exposition uniforme à l'imagerie sur toutes les surfaces de la plaquette. La machine dispose d'un codeur linéaire intégré qui fournit un retour de position en temps réel précis, éliminant le besoin d'interféromètres ou de codeurs laser externes. De plus, le contrôleur de suivi avancé facilite les faibles niveaux de bruit de fond et les déplacements à grande vitesse. Le Mark 7/8 dispose également d'un outil optique composé de lentilles haute résolution et de moteurs avec contrôle de positionnement de précision pour contrôler avec précision l'empreinte du faisceau d'exposition. Cette capacité donne à l'actif photorésist la capacité de produire une imagerie à très haute résolution avec une profondeur de focalisation supérieure et une modélisation cohérente. En outre, le sous-système optique réduit la quantité de lumière parasite et d'éblouissement qui peut limiter les performances des systèmes photorésistants concurrents. Le Mark 7/8 est également conçu pour maximiser l'efficacité spatiale, permettant une utilisation maximale de l'espace d'atelier existant ou nouveau. Pour faciliter cette exigence, le modèle photorésist dispose d'une disposition simplifiée, robuste et compacte avec une faible empreinte, qui est optimisée pour s'adapter aux ateliers appropriés. Dans l'ensemble, TEL Clean Track Mark 7/Mark 8 est un équipement de photorésistance fiable conçu pour produire une imagerie supérieure à la plus grande vitesse et précision, sans sacrifier l'efficacité de l'espace de travail. Avec son optique haute performance et ses servomoteurs de suivi, le système est idéal pour créer des dispositifs semi-conducteurs avancés dans des environnements de travail difficiles.
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