Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark VII #293760424 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark VII est un équipement sophistiqué de traitement de résines photosensibles utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de lithographie avancés. Ce système est conçu pour assurer une application précise et cohérente de matériaux photorésistants sur des plaquettes de silicium, étape critique dans la réalisation de dispositifs semi-conducteurs. Au cœur de l'unité Mark VII se trouve sa machine de manutention robotique avancée, qui permet le chargement et le déchargement automatisés des plaquettes, assurant une intervention humaine minimale et réduisant le risque de contamination. Cette fonction d'automatisation permet également un haut débit et l'efficacité dans le traitement, ce qui rend l'outil idéal pour les environnements de fabrication à haut volume. L'actif Mark VII est équipé d'une gamme de modules et de sous-systèmes qui travaillent ensemble pour fournir des capacités de traitement photorésist précises et fiables. Un élément clé du modèle est le module de revêtement de spin, qui applique une couche uniforme de matériau photorésist sur la surface de la plaquette. Le procédé d'enrobage par filage consiste à distribuer une quantité prédéterminée de matériau photorésist sur le centre de la plaquette de filage, ce qui crée un revêtement mince et uniforme indispensable à la réalisation de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Après dépôt de la résine photosensible sur la plaquette, l'équipement Mark VII utilise un module de cuisson sophistiqué pour durcir thermiquement la couche de résine photosensible, assurant une bonne adhérence à la surface de la plaquette et minimisant les défauts. Le procédé de cuisson est soigneusement contrôlé afin d'optimiser les propriétés du matériau photorésistant, telles que son épaisseur et sa composition chimique, pour répondre aux exigences spécifiques du procédé de lithographie. En plus des modules d'enrobage et de cuisson de spin, le système Mark VII intègre également un module de développement, ce qui facilite l'élimination du matériau photorésist indésirable de la surface de la plaquette. Le procédé de développement consiste à immerger la plaquette dans une solution chimique qui dissout sélectivement le matériau photorésistant exposé, laissant derrière elle une couche structurée qui peut être utilisée pour les étapes ultérieures de gravure et de dépôt dans le procédé de fabrication des semi-conducteurs. L'unité Mark VII est conçue pour fonctionner en salle blanche afin de minimiser le risque de contamination et d'assurer l'intégrité des dispositifs semi-conducteurs en cours de fabrication. La machine est équipée de systèmes avancés de filtration et de purification pour maintenir la pureté des produits chimiques utilisés dans les étapes de traitement de la résine photosensible, ainsi que pour contrôler la température ambiante et les niveaux d'humidité pour des conditions de traitement optimales. Dans l'ensemble, TEL Clean Track Mark VII est un outil de traitement photorésist de pointe qui offre des capacités avancées pour la fabrication précise et fiable de semi-conducteurs. Avec sa manutention automatisée, ses procédés de revêtement et de cuisson précis et sa compatibilité en salle blanche, l'actif Mark VII est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à produire des appareils de haute qualité avec des tolérances serrées et une fonctionnalité avancée.