Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #9185659 à vendre en France
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Vendu
ID: 9185659
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Coater / Developer system, 6"
Spin developer: Up to 5,000 RPM speed, up to 20,000 RPM acceleration
Rotation speed range: 100 - 9,900 RPM
Adhesion temperature setting: 30°C - 199.9° C
Low temperature oven setting: 30°C - 199.9° C
Temperature tolerance: 0.1°C - 25° C
High temperature oven setting: 30°C - 350° C
Cooling temperature setting range: 15°C - 35° C
Drain pan included
Power supply: 100/200 V, 50/60 Hz, Single Phase
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz est un équipement de photorésistance, qui stocke et dispense des produits chimiques pour le processus de développement de la lithographie à semi-conducteurs. Il est conçu pour protéger les composants sensibles pendant le processus de développement et réduire la contamination. TEL Clean Track Mark Vz intègre plusieurs fonctionnalités sophistiquées telles que le système de livraison de produits chimiques, le suivi chimique, le mélange et l'appariement d'une gamme de produits chimiques. L'unité utilise un bras de distribution de fluide avec une buse pour une livraison chimique précise et rapide. Le bras est relié à un réservoir central pour le stockage d'une variété de produits chimiques. La machine est capable de garder une trace précise et précise de la concentration chimique diluée et originale grâce à une série de capteurs. Cela permet à l'outil d'ajuster le taux de dilution des produits chimiques afin d'atteindre la résistance à la solution souhaitée. Le réservoir de nettoyage est conçu pour être très efficace dans le maintien d'un niveau de pureté élevé. Tout le processus de nettoyage prend moins d'une seconde. L'actif dispose également d'un modèle de maintenance chimique avancé pour assurer une manipulation et un suivi adéquats des produits chimiques utilisés pendant le processus de développement. La conception modulaire le rend facile à utiliser et à entretenir. La chambre de mélange soudée en acier inoxydable est conçue pour fournir un équipement robuste sans risque de fuite ou de défaillance du système. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz comprend également des outils de contrôle de précision de haute précision pour garantir les conditions de processus optimales tout au long du processus de développement de la lithographie. Cela comprend une unité de surveillance des niveaux chimiques, de la température et de la pureté. La machine offre une variété d'options pour nettoyer, mélanger et contrôler l'équilibre chimique. Toutes les fonctionnalités de Clean Track Mark Vz sont conçues pour minimiser le temps de traitement, augmenter le débit et assurer le plus haut niveau de qualité dans le processus de développement de lithographie à semi-conducteur qui en résulte.
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