Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track est un équipement de photorésistance utilisé pour la photolithographie avancée. Le système utilise une multitude de technologies avancées pour assurer un alignement et une résolution précis lors de la production de dispositifs microfabriqués. TEL Clean Track permet une lithographie précise et précise en se concentrant sur la réduction de la contamination des particules dans le processus de lithographie. Pour ce faire, il intègre plusieurs technologies telles que la filtration efficace de l'air, l'extraction des poussières et les procédés de collecte et d'enlèvement des débris. Les procédés spécifiques varient en fonction du type d'équipement de lithographie utilisé, mais comprennent généralement les étapes suivantes. Premièrement, la machine recycle l'air dans la salle de lithographie et élimine les particules qui produisent de l'électricité statique. Cela aide également à garder la pièce sans poussière. Deuxièmement, un outil d'extraction des poussières est en place pour filtrer les particules de poussières de l'air. Ceci est fait par une combinaison de filtration à haut rendement, de séparateurs de poussières cycloniques et de la technologie active de nettoyage de l'air de charbon. Troisièmement, l'actif empêche les particules de la zone d'entrer dans la chambre de lithographie. Le modèle déploie une buse pour retirer doucement les particules en suspension de la chambre, ce qui est très efficace pour empêcher les particules d'entrer dans le champ haute résolution de la machine de lithographie. Quatrièmement, l'équipement utilise plusieurs technologies pour assurer un alignement précis du masque de contact du dispositif en cours de fabrication. Cela comprend l'utilisation de multiples types de sources lumineuses, l'alignement optique de la férule et des points de référence alignés sur le laser de haute précision. Toutes ces caractéristiques garantissent un alignement précis du dispositif fabriqué. Enfin, le système peut non seulement assurer un alignement précis, mais aussi réduire la possibilité pour les contaminants d'entrer dans la chambre de lithographie. Ceci se fait par l'intermédiaire d'un poste de nettoyage secondaire situé à l'extérieur de la chambre de lithographie. Cette station est équipée de filtres à haut rendement pour capter les débris ou les particules qui ont pu être introduits dans la chambre. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Clean Track est une machine de photolithographie avancée qui utilise de nombreuses technologies pour assurer un alignement et une précision précis du dispositif fabriqué. L'outil aide également à réduire la contamination dans le processus de lithographie, en créant un environnement exempt de contaminants.