Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track est un équipement de photorésistance utilisé dans le processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour éliminer les particules, les films organiques et inorganiques, et d'autres contaminants de la couche de photorésist pendant la fabrication du dispositif. TEL Clean Track utilise un gaz ionisé de haute intensité pour balayer les contaminants de la surface de la résine photosensible. Ce gaz est délivré à la surface de la résine photosensible à l'aide d'un ensemble tête de douche comportant une buse de distribution de gaz et un régulateur de pression de gaz réglable. Le régulateur de pression est réglable pour fournir une gamme de pressions de refoulement de gaz qui peut accueillir une variété de couches de photorésist, chimies de surface, et la taille des particules. TOKYO ELECTRON Clean Track intègre également des pompes à haute performance qui font circuler continuellement le gaz ionisé à une pression de nettoyage optimale de 10 à 20 torr. Le système utilise un filtre statique pour aider à éliminer les particules en suspension du flux de gaz, ainsi qu'un compteur de pression de gaz réglable et un régulateur pour fournir un flux de gaz ionisant cohérent pour les applications en salle blanche. L'unité Clean Track comprend une machine d'imagerie unique qui utilise des technologies optiques de pointe telles que l'illumination laser et l'imagerie à couplage de charge (CCD) pour surveiller la couche de photorésist pour détecter les contaminants. Il comprend également des capacités d'enregistrement à double vidéo pour l'observation des particules ainsi que des contaminations non visibles à l'œil nu. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track fournit une installation de superposition pour la comparaison des images prises avant et après l'application photorésist pour une meilleure surveillance des processus. Dans l'ensemble, TEL Clean Track est un outil de photorésistance robuste et fiable qui permet d'éliminer efficacement les particules, d'automatiser les processus et de réduire les coûts de fabrication. Il est utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et est particulièrement efficace pour éliminer les petites particules et les contaminants organiques de la surface de la résine photosensible. TOKYO ELECTRON Clean Track est conçu pour maintenir l'intégrité de la couche de photorésist et assurer la reproductibilité du procédé et un rendement élevé.