Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9399665 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track est un équipement de photorésistance de pointe utilisé par les fabricants de semi-conducteurs dans la production de circuits intégrés. La photorésist est un film chimique sensible à la lumière utilisé pour former des circuits sur différents substrats. Il est soumis à différentes étapes de lithographie, de gravure et de dépôt. Le système TEL Clean Track permet de minimiser les risques et d'améliorer la précision de ces processus. TOKYO ELECTRON Clean Track est conçu pour fournir un environnement stable et cohérent autour de la plaquette exposée à l'étape photorésist sensible des processus. Il comporte plusieurs étapes qui se concentrent sur la prévention de la contamination des particules, qui peut conduire à des défauts dans le produit final. Ces étapes comprennent les pré-agents de particules, le contrôle statique, le gaz propre, la filtration des particules, la surveillance de l'environnement et le post-nettoyage. Les pré-agents particulaires sont utilisés pour identifier et éliminer les contaminants dans la chambre Clean Track. Le contrôle statique empêche les charges statiques potentielles qui peuvent s'accumuler dans la chambre, ce qui peut également causer la contamination des particules. Le gaz propre est un mélange fortement filtré qui empêche l'introduction de particules de nouveau à l'intérieur de la chambre. La filtration des particules est une machine de filtration active qui capture des particules du milieu ambiant en plus des particules précédemment éliminées. Les systèmes de surveillance de l'environnement détectent les particules avant d'entrer dans la chambre de piste propre TEL/TOKYO ELECTRON. Enfin, le post-nettoyage est effectué pour une élinisation ultérieure des particules. L'outil TEL Clean Track aide les fabricants de semi-conducteurs à produire des circuits intégrés de haute qualité dans un processus très efficace avec des défauts minimes. Pour ce faire, on élimine la contamination par les particules de l'ensemble du procédé de lithographie, ce qui permet de maintenir un contrôle serré du procédé à chaque étape. De plus, l'actif est capable de s'assurer que le produit de chaque étape est exempt de défauts. Dans l'ensemble, le modèle TOKYO ELECTRON Clean Track sert de base à une fabrication de semi-conducteurs à haut rendement et rentable.