Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380658 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un équipement photorésist semi-automatique conçu pour le traitement des applications de dépôt en couches minces. Il s'agit d'un système de revêtement/poinçon composé d'une unité de traitement de plaquettes robotiques, d'un réservoir programmable air/vide et d'une chambre de traitement. Cette unité est idéale pour les applications lithographiques à pas fin en raison de sa précision et précision. TEL CS-600 permet le dépôt de couches de couches minces comme la résine photosensible, la silice, l'aluminium et le titane, le tout en un seul procédé. La machine est capable de modeler à grande vitesse et peut facilement accueillir à la fois la lithographie de contact et la photolithographie de proximité. Il est également capable de former des entretoises de ligne de couche, ce qui augmente la capacité de l'outil à s'adapter à une variété de géométries de motifs. TOKYO ELECTRON CS-600 convient aussi bien pour les procédés semi-conducteurs que pour les procédés photo-creux, tels que la photolithographie, la lithographie de contact et la lithographie de proximité. La surface de la plaquette est exposée à un revêtement uniforme précis de matériaux photosensibles, puis modelée avec une exposition flash. CS-600 peut accueillir divers processus qui nécessitent une taille de pixel de 10 microns à 24 microns. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est équipé d'un bras robotique à quatre axes qui peut être programmé pour manipuler rapidement et avec précision les plaquettes. Il permet un transfert rapide et une croissance de couche à faible coût grâce à sa précision de balayage efficace. Cet actif dispose d'une chambre à vide réglable intégrée, qui contrôle le niveau de la couche photosensible pour assurer un collage parfait des couches successives. TEL CS-600 est équipé d'un réservoir programmable air/vide qui permet de maximiser la précision du niveau de vide du modèle en tout temps. Le réservoir air/vide est réglable de manière à recevoir des plaquettes de toute épaisseur. De plus, TOKYO ELECTRON CS-600 est également équipé d'une vanne de grille pour maintenir la résine photosensible à l'intérieur du réservoir et l'empêcher de s'oxyder. CS-600 est un équipement de photorésistance très efficace et fiable qui est conçu pour gérer la production en grand volume de couches minces. Ses performances précises et précises en font un choix idéal pour les applications de lithographie fine. La robotique automatisée du système et le réservoir programmable air/vide le rendent extrêmement convivial et donnent d'excellents résultats.