Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380665 à vendre en France

L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un système complet conçu principalement pour la lithographie de matériaux photorésistes avancés sur des plaquettes de 300mm à 200mm. Il supporte le traitement de plusieurs photorésistances multicouches et permet un traitement de haute précision avec une répétabilité de 30nm. Il contient une métrologie simultanée hauteur/focale/dose qui fournit un contrôle précis de la focalisation et de la dose pour le marquage de haute précision et dispose également d'une unité d'imagerie directe pour le placement exact du motif. La machine TEL CS-600 utilise une projection thermique optique (OTP) d'images haute résolution pour réaliser des processus précis de photorésistance. OTP utilise l'optique de projection avancée et la technologie d'imagerie avec Pupil Imaging (PI) et le Feature Brightness Compensation (FBC) pour apporter une image de masque de haute intensité et homogène sur le film de résistance. Cela permet une variété de techniques de balisage telles que l'exposition hors centre, le traitement de la couche antireflet inférieure (BARL) et le balisage atténué dans des processus multicouches. La technique PI permet une résolution supérieure des éléments de motif et le FBC compense la différence de luminosité des éléments de motif en raison de leur taille. TOKYO ELECTRON CS-600 offre un balayage opto-acoustique à haute fréquence (jusqu'à 300kHz) qui offre une grande précision, une grande vitesse et une haute résolution. Ils sont également capables de réaliser des alignements sous microns de plans de plaquettes pour les transferts de motifs et une variété d'alignements, ainsi que le support pour l'imagerie avancée et résister aux caractéristiques de masquage. La fonction de régulation de température de CS-600 offre une épaisseur de film de résistance uniforme pour des résultats constants. Il est capable de manipuler divers processus tels que la cuisson latérale supérieure, le revêtement, la cuisson, et l'exposition. La température extrêmement basse de TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 permet également de minimiser la possibilité de résister aux dommages pendant le processus. En plus du processus universel de traitement de résistance, TEL CS-600 est également capable de traiter une variété de matériaux photorésistants avancés. Il est conçu pour traiter des applications de photorésistance monocouche et multicouche. L'outil d'imagerie optique rapide TOKYO ELECTRON CS-600 permet à l'utilisateur d'imaginer des caractéristiques photorésistantes avec une précision de 0,2 m. L'actif photorésist est également équipé de processus de contrôle et d'inspection analytiques avancés. Ils comprennent la vérification des règles de conception, la mesure de la topographie, le contrôle de la dose d'exposition, la mesure de la résolution, l'inspection des défauts, l'inspection de la contamination, la mesure de l'uniformité des plaquettes/pixels et la métrologie des particules. CS-600 offre des performances exceptionnelles pour la lithographie et est un modèle très fiable pour la manipulation de procédés de photorésistance sophistiqués. Il est extrêmement coûteux, ce qui rend difficile pour de nombreux laboratoires d'acquérir, mais globalement TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 fournit le plus haut niveau de performance photorésist disponible aujourd'hui.