Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380670 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment est une suite lithographique complète basée sur le système très précis et productif CS300. Cette unité utilise une source laser excimère de pointe pour la lithographie et un module de cuisson à quatre zones pour la cuisson de résistance uniforme et post-exposition. Il est spécifiquement conçu pour la production en grand volume de circuits intégrés tels que la mémoire, la logique et les dispositifs CMOS. TEL CS-600 utilise un détecteur avancé d'alignement de projection laser pour obtenir un alignement précis et précis du masque sur le substrat. Cette technologie avancée d'alignement laser permet un traitement lithographique précis et un rendement de procédé élevé. Un détecteur autofocus est utilisé pour contrôler la position de focalisation laser et un objectif à défocus réduit permet de maximiser la productivité de la machine. Les paramètres d'exposition laser sont précisément optimisés en utilisant la structure d'émission multi-étages du laser et différents réglages de défocus. La précision de recouvrement de TOKYO ELECTRON CS-600 est améliorée par l'optimisation de la taille du faisceau laser et l'utilisation d'un repère double orientation. De plus, la source laser peut être adaptée à des applications spécifiques de lithographie. Le laser est également équipé de fonctionnalités Préflash et Flash Flood de haute puissance pour assurer la profondeur de la couverture de champ. Le traitement de résistance sur CS-600 est activé avec des zones de température contrôlées individuellement et des procédés de cuisson uniformes. L'utilisation d'un module de cuisson multi-zones haute résolution offre une meilleure performance lithographique et une fenêtre de processus accrue. Avec les capacités combinées de l'alignement de la projection laser et du module de cuisson à quatre zones, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 fournit un processus de résistance robuste pour la fabrication de circuits intégrés à haut volume. Les méthodes de contrôle d'exposition avancées intégrées permettent d'adapter facilement TEL CS-600 aux exigences des différentes conceptions de circuits intégrés et processus de fabrication. L'alignement du bord de la plaquette est contrôlé par la conception complète de l'outil. L'atout de détection auxiliaire améliore la précision d'alignement die-to-die. TOKYO ELECTRON CS-600 intègre également un environnement complet de contrôle des processus qui permet le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus. Il est équipé d'un modèle complet d'analyse de la qualité qui est utilisé pour surveiller les différents paramètres lithographiques et les conditions de processus. Ces données sont ensuite utilisées pour développer des modèles de processus statistiques qui peuvent être utilisés pour optimiser davantage le processus lithographique. CS-600 est un équipement photorésist très intégré et optimisé pour des applications de fabrication de circuits intégrés à haut volume. Il est équipé de lithographie moderne et résiste aux techniques de traitement et offre des performances lithographiques supérieures. Les systèmes de contrôle avancés garantissent que le processus de photolithographie est optimisé et que la qualité peut être maintenue en même temps.