Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380675 à vendre en France

L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un système de lithographie monolithique conçu pour l'exposition de matériaux photorésistes avec une déformation de motif minimale. Il offre une homogénéité diélectrique supérieure, permettant d'imprimer des caractéristiques finement détaillées avec une extrême précision et des rendements supérieurs par rapport aux systèmes d'exposition lithographiques traditionnels. L'unité intègre une variété de fonctionnalités, y compris une machine de maintien de masque haute fréquence avancée, auto-focus, et l'alignement laser. TEL CS-600 offre une précision d'étape de 10nm, permettant une haute précision des résistances sur l'ordre des caractéristiques critiques. Pour maintenir cette précision, TOKYO ELECTRON CS-600 utilise un outil d'entraînement linéaire de grande précision qui compense les variations thermo-mécaniques afin d'assurer des expositions répétables de haute précision. Le modèle de maintien de masque haute fréquence de l'actif supporte des ensembles de masques diélectriques de 5 à 500nm d'épaisseur, permettant d'exposer avec précision les caractéristiques fines et complexes du matériau photorésistant. L'équipement d'alignement laser CS-600 assure l'alignement de la photomasque par rapport au substrat, fournissant un processus de mise en forme stable pour des résultats à haute résolution. La fonction auto-focus du système garantit une précision nano-échelle tout au long du processus d'exposition. En utilisant une diode laser à haute résolution brevetée, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 peut mesurer le bord critique du motif de la résine photosensible et ajuster automatiquement son foyer. Il en résulte des motifs toujours précis même lorsque la topographie ou la rugosité du substrat change. TEL CS-600 offre également une variété de fonctionnalités haut de gamme, telles que l'imagerie ultra haute résolution à 5nm en longueur d'onde et en ouverture numérique. Il en résulte des performances de débit élevées et un taux de défaut extrêmement faible. TOKYO ELECTRON CS-600 est un appareil photorésistant précis, facile à utiliser et fiable conçu pour relever les défis de l'industrie de la microélectronique en constante évolution. Il a la capacité d'atteindre une résolution de bord jusqu'à 5nm avec des expositions répétées de haute précision, permettant d'imprimer des motifs de haute résolution avec des rendements supérieurs. En tant que telle, il s'agit d'une solution idéale pour les applications avancées de microélectronique à haut volume.