Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380677 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un équipement photorésistant complet utilisé pour les processus de photolithographie. Le système combine une technologie de résistance avancée avec une unité de traitement de substrat entièrement automatisée pour fournir une solution de résistance complète. TEL CS-600 comprend un module de résiste, un module de vision et un module d'alignement de substrat, ce qui en fait une solution idéale pour un large éventail d'applications. Le module résiste est conçu pour l'utilisation de différents types de matériaux résineux. Il est équipé d'une buse à résine, d'une buse à revêtement antireflet (ARC) et d'un séchoir à pulvérisation. La buse est capable de contrôler avec précision l'application du matériau résineux, en assurant un dépôt uniforme avec une grande précision. De plus, la buse est équipée d'un détecteur de fuite, évitant les fuites et la contamination des surfaces critiques du substrat. L'ajustabilité de la buse en résine permet le dépôt de formulations à la fois positives et négatives sur divers substrats. Le module de vision est conçu pour reconnaître avec précision les coordonnées du substrat et suivre leur déplacement sur l'étage du substrat. Le module de vision dispose d'une caméra haute résolution, permettant une reconnaissance précise des caractéristiques du substrat. Ceci permet une orientation précise du substrat par rapport à la buse en résine et à la buse ARC lors du processus d'application. En outre, le module de vision est capable de détecter automatiquement les défauts du substrat et de fournir une rétroaction au module de résistance afin de s'assurer que seuls des substrats d'intégrité acceptable sont utilisés. Le module d'alignement du substrat permet d'assurer un positionnement cohérent du substrat à chaque fois qu'un substrat est placé sur l'étage du substrat. Il utilise une combinaison de capteurs et de logiciels pour positionner avec précision n'importe quel substrat dans une plage de ± 0.1mm. Ceci permet d'assurer une application précise du matériau résineux. De plus, ce module permet la mise en place commode d'un grand nombre de substrats en un seul lot en raison de sa nature automatisée. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON CS-600 est une remarquable photorésist qui offre une uniformité et une productivité supérieures. Ses options d'application polyvalentes permettent une production flexible de divers substrats, ce qui en fait une solution idéale pour les processus de photolithographie. De plus, les capacités avancées d'imagerie et d'alignement garantissent que les substrats sont correctement positionnés pour le processus de demande de résistance, ce qui donne une reproductibilité supérieure.