Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment est un outil polyvalent et fiable pour la création et la gravure de substrats dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce système utilise une technique de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) pour déposer une couche de photorésist sur le substrat. TEL CS-600 se compose de deux parties principales, la chambre de procédé et la chambre source. La chambre de procédé est une chambre étanche qui abrite une pompe à vide. La chambre source contient les composants nécessaires au procédé. Le substrat peut être chargé sur la chambre de procédé, et une fois scellée, la pompe commence à évacuer la chambre. Sous vide, les composants de la chambre source sont chauffés jusqu'à la température désirée. Ensuite, différents types de gaz peuvent être introduits dans la chambre pour commencer le processus de dépôt et de gravure. TOKYO ELECTRON CS-600 peut être utilisé pour modeler et graver une variété de substrats, y compris des substrats en silicium polycristallin, oxydes dopés, nitrures, SiGe/SiGe, et plus encore. Pour la gravure, on utilise du chlore et des gaz à base de fluor. Quant à la couche de photorésist, CS-600 utilise un procédé de polymérisation faisant appel à un gaz monomère et initiateur pour générer la photorésist. Le procédé de polymérisation permet à l'outil d'offrir des performances inégalées pour les applications de traitement des photorésistances. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 comporte plusieurs fonctions de sécurité. L'unité est équipée d'une soupape de sécurité interne, d'une machine de purge et d'un outil d'échappement. Ces dispositifs de sécurité peuvent aider à s'assurer qu'aucune substance dangereuse n'est rejetée dans l'environnement pendant le traitement. TEL CS-600 est un outil efficace et fiable pour le traitement des photorésistances et est conçu pour offrir des performances et une convivialité supérieures dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses capacités polyvalentes, TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset est un choix privilégié parmi les fabricants de semi-conducteurs.