Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380683 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment est un outil puissant et fiable pour les processus de photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. Doté d'un système intégré fiable pour un meilleur contrôle du processus de photolithographie, TEL CS-600 est conçu avec des performances optiques de pointe et des capacités avancées de manipulation des plaquettes. Cette unité offre des performances optiques supérieures, y compris une ouverture numérique élevée (NA) pour l'imagerie précise, et un contrôle supérieur de la puissance d'irradiation laser pour le réglage dynamique de la puissance. La machine est également équipée de capacités avancées de manutention des plaquettes, y compris l'alignement automatisé des substrats, l'uniformité de la température des plaquettes et des vitesses de refroidissement optimisées pour des températures de processus contrôlées. En outre, TOKYO ELECTRON CS-600 dispose d'une alimentation programmable pour une flexibilité maximale et une fonction d'arrêt d'urgence pour la sécurité. CS-600 offre également un certain nombre de différentes options de photorésist pour répondre à différents besoins de lithographie. Il s'agit notamment des photorésistes monomodes (SMPR), des photorésistes multimodes (MMPR) et des photorésistes proactifs (PPR). SMPR offre des niveaux élevés de sensibilité et de détail, ainsi qu'un excellent contraste. MMPR est idéal pour les tâches complexes de photolithographie, et est capable de produire de grands motifs avec photorésist cuit dans le substrat. PPR est une photorésist haute performance conçue pour les structures 3D, et est capable d'obtenir des résultats avancés en lithographie. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 a une configuration compacte pour assurer une installation et un fonctionnement faciles. En outre, il offre une large gamme de composants standard et personnalisés pour la personnalisation aux besoins spécifiques des clients. De plus, la conception modulaire de l'outil permet de remplacer facilement les composants photorésistants individuels. TEL CS-600 Photoresist Asset est un outil puissant et fiable pour les procédés de lithographie avancés et peut fournir des niveaux élevés de reproductibilité et d'uniformité dans les résultats de processus. Ce modèle fournit des résultats très fiables pour une large gamme de procédés de photolithographie et est bien adapté pour une utilisation dans la fabrication de semi-conducteurs.
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