Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380686 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un équipement de photorésistance qui permet aux utilisateurs de modeler directement des couches métalliques avec photolithographie. Il est largement utilisé dans les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs, tels que l'assemblage de minuscules capteurs et structures de culture, de microsystèmes électromécaniques (MEMS), d'interconnexions et de dispositifs optoélectroniques. Le système fournit un contrôle précis de l'exposition, un contrôle de la taille des fonctionnalités et un traitement robuste des métaux, le tout en un seul processus. TEL CS-600 utilise une résistance photorésiste exclusive appelée résistance thermique assistée électronique-chimique (ECAT). Cette résistance est conçue pour être compatible avec divers métaux et finitions de surface de substrat. Il est très photosensible à la lumière visible et aux faisceaux d'électrons, permettant aux utilisateurs de contrôler la résolution des motifs et des caractéristiques. De plus, TOKYO ELECTRON CS-600 est équipé d'un étage mécanique qui oriente avec précision le substrat revêtu de résine par rapport à la source lumineuse d'exposition. CS-600 comprend un large choix d'outils de lithographie, y compris un projecteur d'image haute résolution, des sources d'exposition à l'arc de mercure/halogène et une source d'exposition au laser. Ces outils sont conçus pour réaliser des motifs de ligne/espace extrêmement bas, avec une résolution allant jusqu'à 0,8 micromètre (μ m). L'unité dispose également d'une cellule de balayage à haute résolution qui permet une exposition simultanée à plusieurs angles. Pour garantir le plus haut niveau de précision, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est équipé d'une machine de rétroaction haute performance. Cet outil surveille en permanence les distances du substrat revêtu de résine par rapport à la source d'exposition, et effectue des ajustements pour s'assurer que les alignements de motifs sont dans la tolérance. La cellule de numérisation est également chronométrée pour réduire les dommages à la résistance dus à une exposition prolongée. TEL CS-600 est également équipé d'un matériel sophistiqué de nettoyage, de revêtement et de séchage. Ce modèle séquencé prévient la contamination pendant le déroulement du processus et assure l'uniformité de la résistance et un résultat final clair sur le plan optique. TOKYO ELECTRON CS-600 comprend également une station de nettoyage de ligne post-développement qui aide les utilisateurs à retirer la résine photosensible du substrat après son exposition et son développement. Dans l'ensemble, CS-600 est un équipement de photorésistance puissant et fiable pour la fixation directe des couches métalliques. Sa polyvalence et ses caractéristiques robustes le rendent adapté à une large gamme d'applications de photolithographie.