Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un équipement de photorésistance conçu pour enduire et développer des substrats avancés dans la production de masse de semi-conducteurs. Ce système utilise les technologies les plus récentes pour produire des résultats de haute qualité et de haute efficacité qui répondent aux normes de l'industrie. TEL CS-600 est conçu pour une utilisation optimale du substrat, pouvant accueillir jusqu'à 8x25 pouces de substrats avec une unité de manutention rapide des plaquettes. Il dispose de la fonctionnalité cassette à cassette automatisée grâce à l'utilisation de robots, ainsi que d'une machine de suivi intégrée qui surveille le débit de la plaquette, le transport de la plaquette et le revêtement de la plaquette et les étapes de développement. L'outil permet un enrobage rapide des photorésistes et simplifie le flux de travail de la recette, ce qui le rend adapté à une large gamme de solutions détergentes. En outre, l'actif est compatible avec de nombreux produits chimiques transformés par pulvérisation et pulvérisation. Le TOKYO ELECTRON CS-600 de haute précision dispose d'un modèle d'autodiagnostic qui effectue un suivi continu des performances de l'équipement et peut immédiatement prendre des mesures correctives si nécessaire. Le système fournit également une métrologie unitaire complète, indiquant plusieurs paramètres tels que la température, la vitesse de l'air, l'humidité, la force, la concentration, le déplacement et l'accélération. La machine intègre des outils actifs avancés pour le contrôle des processus. Il peut détecter et ajuster la pression, la température, la concentration et le débit de solvant pour maintenir les niveaux de précision les plus élevés. Les outils d'évaluation avancés de l'outil contribuent à garantir la qualité du produit, combinant l'inspection automatisée et les inspections visuelles des opérateurs. CS-600 peut être pleinement intégré dans la chaîne de production de l'opérateur, offrant un contrôle simultané de nombreux modules, tels que le transfert de plaquettes, le mélange chimique et le transfert de substrat. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 photoresist actif est conçu pour répondre aux exigences de haute performance et de productivité. En fournissant les vitesses les plus rapides et les débits les plus élevés dans sa classe, TEL CS-600 peut maximiser l'efficacité de production. Ce modèle est un choix idéal pour les fournisseurs de semi-conducteurs visant à des opérations de processus plus efficaces et fiables.
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