Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 est un équipement de photorésistance qui fournit des solutions complètes et avancées pour la modélisation avec précision. Ce système est conçu pour offrir un flux de processus entièrement automatisé avec les plus hauts niveaux de performance, de sécurité et de fiabilité. L'unité est une combinaison d'outils et de procédés de lithographie évolués qui permet une modélisation précise avec le rendement le plus élevé. TEL CS-600 comprend une machine de photo-alignement, un scanner, un outil d'exposition à l'aiguille, deux chambres et deux postes de cuisson. L'actif photo-alignement fournit un alignement précis des photomasques et des substrats. Cela permet de réaliser le travail le plus efficace, en assurant le rendement le plus élevé. Le scanner utilise une optique haute puissance pour capturer et mettre au point, puis projeter et répéter le motif sur la plaquette. Le modèle d'exposition à l'aiguille se compose de deux têtes d'exposition, d'une tête de distribution et d'un ensemble de petites aiguilles qui servent à dessiner des motifs sur la résine photosensible. Les deux chambres travaillent ensemble en série pour appliquer la résine photosensible, puis pour développer et enlever le matériau résineux. La première chambre maintient les cuves de dispersion, où la résine photosensible est mélangée et distribuée sur le substrat. La chambre comporte également un obturateur permettant à la résine d'être exposée au motif et de se développer. Après exposition, les plaquettes sont ensuite transférées dans la deuxième chambre qui est équipée d'un sécheur aérodynamique, d'un équipement de contamination des eaux usées et d'une chambre d'élimination chimique. La station de cuisson est également très automatisée et intégrée dans le système TOKYO ELECTRON CS-600. Pendant la cuisson, un environnement contrôlé par la température est maintenu afin d'assurer la durcissement et la stabilité uniformes de la résine photosensible. Le poste de cuisson peut également être utilisé dans d'autres procédés tels que la gravure, la gravure et le clivage. CS-600 est conçu pour le prototypage rapide et les procédés avancés de micro-fabrication. Il est particulièrement efficace pour les procédés d'impression 3D lorsqu'il est utilisé avec d'autres machines. La combinaison des procédés avancés de lithographie et du processus automatisé proposé par TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 offre un moyen plus efficace, fiable et performant de produire des produits techniquement complexes.
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