Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269591 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON CS450
ID: 9269591
System CANON MPA 3000 Robot Oven.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment est un système de traitement de résistance puissant et convivial pour les procédés de lithographie avancés. Conçu pour la cohérence et la précision, TEL CS450 est capable de répondre à des exigences complexes en matière de fabrication pour les technologies semi-conductrices de prochaine génération. Cette unité prend en charge des applications telles que la lithographie UV profond (DUV) et ultraviolet extrême (EUV) avec des étapes d'exposition simple et double. TOKYO ELECTRON CS 450 est conçu pour fonctionner avec des photorésistes à tonalité négative amplifiée chimiquement. La technologie de pointe de cette machine optimise la variabilité des processus et permet une excellente uniformité et productivité, même avec des modèles plus petits. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 dispose de la vision intégrée de la machine, permettant l'inspection automatisée et l'identification des défauts. TEL CS 450 est équipé de paramètres de processus programmables. Cela permet des résultats précis et reproductibles. L'outil peut être actionné manuellement ou en mode automatique. Le mode automatique peut être utilisé pour un traitement rapide et reproductible des résistances, même sur des structures de résines complexes. L'actif fournit également un excellent contrôle de la température. La température du procédé peut être contrôlée avec précision de 5 à 80 ° C, tandis que la température du substrat peut être maintenue entre 5 et 60 ° C Un zonage thermique rapide est également disponible en option, ce qui peut réduire considérablement le temps nécessaire au traitement des plaquettes à petite géométrie. Le modèle comprend une interface graphique interactive qui permet un fonctionnement facile et intuitif. En outre, un éditeur de recettes est disponible qui permet aux utilisateurs de créer des recettes personnalisées et de les stocker dans la base de données TOKYO ELECTRON CS450. Les instructions de l'utilisateur sont intuitives, ce qui rend l'opération plus simple et plus conviviale. L'équipement comprend également un système intégré de suivi de résistance haute performance, qui permet de surveiller en temps réel les résultats des processus. Cela permet aux opérateurs de corriger les variations qui peuvent survenir au cours des différentes étapes du processus de traitement de la résistance. Dans l'ensemble, CS450 Photoresist Unit est une machine de traitement de résistance puissante et conviviale pour les procédés de lithographie avancés. Sa technologie de pointe de rotation, les réglages de température, l'interface graphique conviviale et l'outil de suivi en temps réel de résistance offrent une uniformité et une stabilité de processus exceptionnelles. Cet atout est capable de répondre aux exigences de processus les plus difficiles, offrant aux utilisateurs une précision et une répétabilité inégalées.
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