Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement de photorésistance conçu pour automatiser le processus de création de microstructures sur plaquettes semi-conductrices. Le système se compose d'une lampe d'exposition spéciale, d'un étage tournant de plaquettes, d'une unité de purge des gaz et d'une machine à vide pour le traitement rapide et précis des plaquettes. La lampe d'exposition, une lampe à halogénure métallique, émet des rayons ultraviolets à ondes courtes d'une longueur d'onde de 351nm pour l'imagerie précise des microstructures. La longueur d'onde et l'irradiance de la lampe peuvent être fixées pour des niveaux d'exposition spécifiques, ce qui permet une imagerie précise et cohérente. L'étage de plaquette tournante est un plateau motorisé qui fait tourner la plaquette à 1800 tr/min et fixe le temps d'exposition aux incréments définis par l'utilisateur. L'étage dispose d'un mécanisme d'amortissement des vibrations qui assure un bon fonctionnement et une précision de positionnement. Ceci permet un placement précis des microstructures sur la plaquette. L'outil de purge des gaz est utilisé pour atteindre les niveaux de vide élevés nécessaires au traitement de la résine photosensible. Une pompe turbo moléculaire à haute efficacité spéciale assure le vide nécessaire et le lavage de la chambre de procédé. On évite ainsi l'introduction de contaminants dans la chambre lors du traitement. L'actif vide est composé d'un modèle en boucle fermée avec plusieurs capteurs, qui contrôlent la pression, la température et la pression partielle de chaque chambre de procédé. L'équipement permet un contrôle précis du vide, permettant le fonctionnement précis du système photorésist. Dans l'ensemble, TEL CS450 est un outil fiable pour le traitement de la photolithographie. Sa combinaison d'une technologie avancée de lampe d'exposition, d'un contrôle sophistiqué de l'étage de plaquettes et d'une régulation précise des unités sous vide permet de fabriquer avec précision des microstructures sur des substrats semi-conducteurs.