Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269602 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement de photorésistance haute performance spécialement conçu pour le traitement de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. TEL CS450 utilise une technologie de lithographie avancée qui permet d'obtenir des modifications précises des motifs à l'aide d'un système photorésist très sophistiqué. La caractéristique la plus remarquable de TOKYO ELECTRON CS 450 est son procédé de revêtement à haute résolution. Il est équipé d'un enrobeur de pointe qui enrobe avec précision et en parallèle des couches minces de la résine photosensible, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication en série de semi-conducteurs haut de gamme. Un revêtement en couche mince très précis est assuré en contrôlant les paramètres de dépôt tels que la pression de contact, la rotation et la vitesse du substrat. La température de la chambre de procédé est également réglée avec précision pour s'assurer que la résine photosensible est correctement évaporée et durcie pour une bonne interprétation des variations d'intensité lumineuse. TOKYO ELECTRON CS450 est également équipé d'une source d'énergie avancée pour le processus d'éclairage. Il dispose d'une unité laser en chambre qui utilise la technologie ULD (Ultraviolet Laser Diode) pour fournir une dose optimale d'énergie pour le processus d'exposition de la résine photosensible. Cela permet une exposition plus rapide des plaquettes et un débit plus élevé par rapport aux sources d'exposition traditionnelles. La technologie ULD assure également une exposition rapide et fiable de différents motifs sans aucun ajustement dû à la sortie uniforme du laser. TEL CS 450 dispose également d'un environnement ultra propre. Il dispose d'une salle blanche de classe 10000 (classe 1), qui offre un environnement exempt de toute contamination par les particules, préservant ainsi les conditions d'ultra-propreté nécessaires aux dispositifs semi-conducteurs. Pour maintenir la propreté de l'environnement, le CS 450 est également équipé de nombreux microfiltres et systèmes de pompage arrière. Globalement, CS450 est une machine photorésist fiable et très avancée conçue pour la fabrication en masse de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Son procédé de revêtement haute résolution, sa source d'énergie fiable et son environnement ultra propre en font un choix idéal pour produire des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et de haute précision.
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