Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269605 à vendre en France
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ID: 9269605
System
CANON MPA 3000
With power box
Photo resist pump car
Coater scrubber controller.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement photorésistant modulaire tout-en-un de TEL (TOKYO ELECTRON). Ce système est conçu pour une variété d'applications de photolithographie, offrant une grande précision et répétabilité. TEL CS450 est capable de traiter de grands substrats de plaquettes de 4 pouces à des plaquettes de 450 mm. Il offre des délais d'exécution rapides et une utilisation chimique minimale, ce qui en fait une solution rentable pour de nombreux environnements de production. TOKYO ELECTRON CS 450 utilise une technologie optique de pointe qui permet d'obtenir une précision répétable avec un minimum de maintenance. Il comprend une lentille de projection télécentrique qui projette la lumière avec une grande uniformité et un miroir linéaire quad (QLM) qui fournit un éclairage stable sur de grands substrats. L'unité peut être configurée avec deux systèmes d'alignement différents, TEL/TOKYO ELECTRON RC-STEP ou le RC6000, selon les besoins spécifiques de l'application. CS450 comprend également plusieurs technologies clés pour réduire les particules, en particulier un joint à membrane breveté et un tapis collant qui contiennent solidement des particules sur les plaquettes. Ceci assure un débit élevé et des rendements même sur les substrats difficiles. La filtration interne de l'air empêche l'accumulation de particules sur les éléments optiques et assure que seul de l'air pur circule à l'intérieur de la machine. En plus de sa grande précision, TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 est également très flexible et peut traiter un large éventail de matériaux, y compris des photorésistances communes, des films transparents et d'autres matériaux optiques. Il dispose également d'une interface conviviale, permettant aux utilisateurs de mettre rapidement en place de nouveaux processus et de décomposition existants. Il est ainsi plus facile de s'adapter aux exigences changeantes et aux différentes méthodes de production. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON CS450 est une solution idéale pour une photolithographie rapide, précise et efficace. Avec ses nombreuses caractéristiques et innovations, il offre le plus haut niveau de performance et de flexibilité. Hautement configurable et économique, TEL CS 450 est le choix idéal pour toute application de photolithographie.
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