Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269606 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement de photorésistance conçu pour effectuer des gravures et des gravures de haute précision de substrats tels que des plaquettes de silicium et d'autres couches minces. Il s'agit d'un système avancé basé sur les dernières technologies de pointe et les principes de conception. TEL CS450 dispose de la Diamond-Like Carbon Source Unit (DLCS), une source de pointe de produits chimiques sensibles à la lumière utilisés dans les procédés de photorésistance. Le DLCS est une source d'évaporation à haute intensité induite par laser, capable de produire des doses contrôlées avec précision de produits chimiques à l'échelle du micron. Le DLCS dispose également de fonctions optiques avancées, telles que la collimation du faisceau, la stabilisation de l'énergie et l'absorption de la lumière. L'unité comprend également la machine de traitement des substrats (STS), un outil avancé pour le nettoyage, le reconditionnement et le séchage des substrats après leur exposition au DLCS. TOKYO ELECTRON CS 450 est conçu pour fonctionner avec différents types de substrats, dont le silicium, le quartz et le saphir. L'actif est capable de contrôler avec précision les profondeurs de gravure et le tracé des lignes, points et autres formes, avec des profondeurs de gravure allant jusqu'à 50 microns et des largeurs de ligne allant jusqu'à 300 nm. Diverses fonctions, telles que l'arrondi des bords, le scribage laser, la mise en forme des lignes et l'accumulation de charges, peuvent être automatisées dans le modèle, offrant une précision supérieure à celle qui est possible à la main. L'équipement est également conçu pour assurer la biosécurité et l'efficacité dans le fonctionnement. Il est livré avec un contrôleur intégré, permettant à l'utilisateur de contrôler les cycles de processus et les paramètres à distance. Cela signifie que l'utilisateur peut réduire le risque de contamination et d'endommagement du substrat et s'assurer que le processus de gravure et de séquestration est effectué avec précision et qualité. Le contrôleur présente également des caractéristiques de sécurité, telles que la protection thermique, qui empêche le système de surchauffer pendant le fonctionnement, et la surveillance des vibrations, qui empêche les changements brusques de la surface du substrat pendant le traitement. Le CS 450 offre une gamme complète de fonctions de gravure et de gravure, y compris le réglage de la profondeur et de la largeur de la ligne, la mise en forme de la ligne de haute précision, l'arrondi des bords, le scribage laser et l'accumulation de charges. De plus, l'unité est capable de produire une gamme complète de structures photorésistantes, y compris des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), des diodes électroluminescentes organiques (OLED), des cartes de circuits imprimés (PCB) et des dispositifs radiofréquences (RF). Il est idéal pour une large gamme d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, d'écrans et de capteurs.
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