Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269621 à vendre en France
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L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un système d'imagerie haute vitesse sans masque qui est utilisé dans le processus de photolithographie pour les applications de semiconducteurs et de circuits. L'unité utilise un laser d'imagerie haute vitesse pour exposer optiquement des motifs sur des plaquettes ou des planches revêtues de photorésist. Il est capable de débit élevé et de précision dans la formation de motifs complexes qui répondent aux besoins rigoureux dans l'industrie électronique et de la microfabrication. La machine intègre une gamme complète d'étages de positionnement motorisés et de systèmes de commande pour assurer un contrôle précis et un positionnement reproductible. La plaquette ou la planche est maintenue solidement dans un mandrin à vide qui peut être engagé par l'utilisation d'un contrôleur. L'homogénéité du substrat et le niveau de vide sont surveillés tout au long du processus d'imagerie afin d'assurer une précision et une répétabilité élevées. Le laser d'imagerie élimine le besoin de masques et de masques rendant le processus de l'outil plus rapide et plus rentable. L'utilisation du laser rend l'actif adapté à la fois à l'imagerie directe et aux techniques d'imagerie indirecte. Une large gamme de longueurs d'onde de sources laser UV (191 - 397nm) et IR (820 - 1700 nm) peut être utilisée pour différentes applications. Le modèle est également livré avec une capacité de nettoyage de plaquettes ou de planches avec une technologie avancée de traitement par voie humide. Il comprend un équipement de gestion chimique entièrement automatisé ainsi qu'un contrôle programmable pour décomposer et transférer des solutions chimiques et surveiller le débit des gaz d'échappement. TEL CS450 peut être conçu et automatisé selon les exigences spécifiques de chaque processus. Les utilisateurs peuvent configurer les programmes d'automatisation pour une durée quelconque, et l'exposition et le développement des photos peuvent être effectués en une seule fois sans intervention manuelle. Les fonctions intégrées de contrôle et de surveillance de précision garantissent la précision et la répétabilité des résultats d'imagerie. Dans l'ensemble, le système photorésist TOKYO ELECTRON CS 450 est une plate-forme d'imagerie fiable et efficace qui peut être utilisée pour un large éventail d'applications. C'est une unité idéale pour créer des motifs complexes qui peuvent être utilisés dans le processus de photolithographie pour les applications de semiconducteurs ou de circuits.
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