Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269625 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement de photorésistance qui utilise une méthode d'absorption de petites particules pour fournir des capacités de traitement à haute résolution. La photorésist est un matériau sensible à la lumière qui est utilisé pour créer des motifs sur un substrat. TEL CS450 utilise une méthode unique d'utilisation de petites particules de poudre de silicate de titane dispersées dans un solvant organique pour créer un vide dans la zone définie d'un champ d'exposition. On applique ensuite la lumière laser, ce qui provoque l'absorption de la lumière par les particules et la création d'images sur la plaquette. TOKYO ELECTRON CS 450 est conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et produit des caractéristiques aussi petites que 0,3 μ m. L'unité permet une grande uniformité d'exposition et une grande vitesse pour le revêtement photorésist et l'exposition. La machine permet un contrôle précis des paramètres et des processus d'exposition, ce qui la rend idéale pour une production à haut volume avec d'excellents rendements. L'outil est conçu pour garantir des résultats fiables et cohérents dans le temps et fait l'objet d'un suivi régulier afin d'assurer le rendement. TEL CS 450 est adapté à un certain nombre d'applications, y compris la lithographie en écriture directe, l'emballage avancé, et d'autres applications nécessitant une résistance photosensible haute résolution. L'actif intègre les capacités physiques de dépôt en phase vapeur. Le procédé de revêtement contient une chambre de transfert de substrat, une chambre de pré-couche et une post-couche ainsi qu'un poste de contrôle, un poste de nettoyage des plaquettes et un injecteur de gaz. De plus, CS 450 est capable de températures de substrat jusqu'à 180 ° C pour le nitrure, le diélectrique et les métaux. Le modèle comprend également des fenêtres de processus pour la température, le temps, la pression et l'épaisseur qui peuvent être ajustées pour chaque couche de traitement. En outre, CS450 offre d'excellentes caractéristiques de processus avec des temps de cycle courts, qui répondent aux normes de cohérence les plus élevées. L'équipement dispose d'une faible charge thermique, permettant un budget thermique plus élevé pour le traitement, ce qui à son tour contribue à réduire le coût et augmente la vitesse. Enfin, l'interface facile à utiliser du système le rend convivial et efficace.