Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9393333 à vendre en France
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ID: 9393333
Style Vintage: 1999
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1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un équipement de photorésistance de pointe utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. TEL CS450 est idéal pour obtenir des propriétés physiques, électriques et optiques très précises sur les dispositifs à circuit intégré (IC). C'est un système entièrement automatisé qui enrobe rapidement et uniformément les pièces et les substrats avec une fine couche de résine photosensible. La photorésist est un matériau photosensible qui est utilisé pour créer des motifs à la surface des dispositifs IC. Il est d'abord appliqué en couche mince uniforme, puis exposé à la lumière UV à l'aide d'un masque photographique, qui forme un motif de lumière sur la résine. La résistance interagit avec la lumière en se durcissant dans les zones exposées. Toutes les zones exposées qui se durcissent peuvent alors être lavées, laissant derrière elles le motif du masque. TOKYO ELECTRON CS 450 combine des technologies de dépôt en phase vapeur de fluorure d'hydrogène (HF) et de bobinage de spin pour fournir une adhérence de couche mince supérieure pour des applications photorésistantes. Le spin coater est également utilisé pour appliquer des revêtements d'épaisseurs uniformes, permettant au procédé d'obtenir des résultats reproductibles. L'unité CS 450 comprend une carte de commande périphérique, un contrôleur central et une machine automatisée de livraison de produits chimiques sous vide. La carte de contrôle périphérique est utilisée pour contrôler l'automatisation de l'outil, tandis que le contrôleur central est chargé de contrôler l'ensemble des opérations. L'actif de livraison de produits chimiques assure des dosages précis de produits chimiques tels que le développeur, l'activateur et le remover sont livrés au substrat. CS450 dispose d'une capacité de traitement des plaquettes de 10 « et 12 » avec support de substrat réglable. Le modèle peut traiter une gamme de tailles de plaquettes, de 2 « à 12 » de diamètre. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 permet également l'application à grande vitesse de photorésist avec son enrobeur de spin motorisé intégré. TEL CS 450 a la capacité de supporter plusieurs tailles de plaquettes ainsi que la capacité de traiter jusqu'à 24 plaquettes à la fois. Cela rend l'équipement idéal pour la production à grande échelle. En outre, TOKYO ELECTRON CS450 est hautement configurable avec ses processus automatisés qui peuvent être facilement modifiés ou adaptés à des besoins spécifiques. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un système de photorésistance automatisé conçu pour la formation de motifs précis sur des dispositifs IC. Il combine des technologies avancées de dépôt en phase vapeur HF et de bobinage de spin avec une unité de livraison chimique à vide pour une adhérence et une uniformité supérieures des couches minces. TEL CS450 supporte plusieurs tailles de plaquettes et est hautement configurable avec ses processus automatisés pour la production à grande échelle.
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