Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9101357 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment est un système avancé de traitement de plaquettes utilisé pour développer une grande variété de photorésistes utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. L'unité dispose d'outils technologiques avancés tels que la manutention motorisée des plaquettes, le planeur des plaquettes et la rotation des plaquettes sous vide avec montage incliné à 40 °. Il a une gamme spectrale complète de 350-700 nm avec un contrôle spectral précis, permettant une haute précision dans l'exposition et le développement des photorésistances. La conception robuste de la machine offre un débit élevé avec la gestion automatisée des séquences de processus, la reconnaissance des plaquettes, la gestion de la température et la simulation des contraintes. Les options de configuration permettent l'intégration de sources lumineuses supplémentaires (p. ex. DUV, FUV ou POLAR) et de composants modulaires (p. ex. systèmes de formation d'images, réflectométrie ou Spec de masse). L'outil garantit la qualité constante de plusieurs types de systèmes, dont InGaAs, GeSe, SiC et SiGe. Doté de fonctionnalités avancées d'alignement automatisé telles que l'optimisation globale multi-points, l'optimisation de grille non linéaire, et des séquences d'étapes personnalisables, l'actif offre une précision et une précision supérieures pour l'exposition photorésist et le développement. Équipé d'une ligne d'azote sur site, le modèle dispose également d'une nouvelle technologie d'assistance à l'azote, permettant une performance optimale. Cette exposition à haute pression assistée par l'azote crée une meilleure adhérence et une diminution de la contrainte sur le film photorésist. De plus, l'équipement offre une imagerie sous-couche et une cuisson post-exposition localisée avec une recette sensible au CCD ou MAM, ce qui contribue à optimiser le processus de gravure. Le logiciel très flexible et convivial de TEL CS500 prend en charge la reconnaissance des modèles, l'auto-caractérisation et la gestion personnalisable des tâches. Il offre la possibilité de gérer des emplois dans différents formats, de GDSII à CDF et Xyce, ainsi que de suivre les opérations spécifiques aux modèles. En conclusion, TOKYO ELECTRON CS 500 Photoresist System est une unité de traitement de plaquettes avancée et robuste, adaptée à une gamme d'applications de semi-conducteurs. Sa gamme spectrale précise, sa technologie d'exposition haute pression assistée par l'azote et sa machine de gestion des tâches personnalisable rendent CS 500 très précis, fiable et efficace.