Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269632 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement photorésistant de pointe conçu pour la production de circuits intégrés très précis et d'autres structures submicroniques profondes. Le système combine la haute résolution de l'optique lithographique avec une grande capacité de manutention et l'automatisation intégrée, permettant à l'utilisateur de produire des circuits complexes et performants de manière efficace et fiable. Au cœur de l'unité se trouve la technologie d'optique à éclairage direct TEL, qui offre une résolution et un contraste supérieurs pour les couches photorésistantes d'imagerie. L'optique comprend une machine de projection de masque de balayage (SMPS) pour l'enregistrement de formes de motifs, un alignement de masque Karl Suss MA65 au microscope, un objectif binaire (x-tal) monté sur un étage XY, et une lentille de projecteur télécentrique. Cette combinaison unique de composants optiques donne des valeurs de rugosité Linewidth (LWR) inégalées dans la région de 1 nm RMS. TEL CS500 est bien équipé pour la manutention et l'automatisation des plaquettes, y compris un outil d'empilement de plaquettes entièrement asservi avec des positionneurs anti-particules et de précision pour assurer le parallélisme et la précision de l'alignement latéral. Cela garantit que les plaquettes peuvent être chargées et déchargées avec précision de la station d'imagerie rapidement et facilement. L'actif est également livré avec une gamme complète d'outils logiciels et de fonctionnalités pour le contrôle et l'exploitation. Tous les paramètres tels que l'énergie d'exposition, la taille des points, l'uniformité d'exposition, la température du processus et la précision d'alignement du masque peuvent être contrôlés avec précision à partir de l'interface graphique intuitive de l'ordinateur. Les recettes préétablies et les processus définis par l'utilisateur peuvent être stockés sur le modèle pour le retournement rapide des lots de plaquettes. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON CS 500 est un équipement très avancé avec des caractéristiques avancées pour la production de circuits intégrés et d'autres structures photorésistantes avancées. Ses capacités d'imagerie fiables et précises, son automatisation continue et sa suite logicielle complète en font le choix idéal pour tout environnement de production de photorésist commercial.