Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269647 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment est un système de photolithographie de pointe conçu pour la production de circuits intégrés. L'unité est une machine de photolithographie entièrement automatisée, utilisant la dernière technologie de lithographie pour permettre la production de puces à un niveau de précision et de vitesse sans précédent. TEL CS500 a la capacité d'exposer et de développer des films résistants avec un maximum de 24 masques photo. Il peut traiter jusqu'à 6.500 wafers par heure et transporte une variété de caractéristiques différentes pour répondre aux besoins photolithographiques exigeants des clients. Ceux-ci comprennent une large gamme de longueurs d'onde d'exposition, allant de la lumière ultraviolette profonde (DUV) à la lumière des rayons X. L'outil permet également le contrôle des réticules et l'alignement des étages de plaquettes pour garantir la précision de l'exposition. TOKYO ELECTRON CS 500 est équipé d'un atout d'alignement automatique avancé (AAS) pour s'assurer que la couche de résine photosensible est correctement positionnée pendant le processus d'exposition. Ce modèle tient compte à la fois des données de forme et de position des pièces, de l'alignement de la fente des rayons X et des régleurs de contrainte des plaquettes pour s'assurer qu'une couche de résistance correctement dimensionnée est produite. L'AAS permet également d'ajuster le débit de dose, qui peut être ajusté pour produire une couche de résistance de l'épaisseur spécifiée. De plus, le CS 500 dispose d'un équipement de contrôle intégré pour détecter les défauts de la couche de résine photosensible après sa production. Le système est capable de détecter des défauts jusqu'à 3 micromètres, permettant la détection et la correction rapide des films présentant des défauts. Pour s'assurer que la résine photosensible est uniformément exposée et développée, TEL CS 500 utilise une unité d'exposition avancée à faisceau cohérent (CBA). Cette machine dispose d'un réseau de faisceaux laser projetés sur la couche de résiste, assurant que la lumière est dosée uniformément à travers la couche. TOKYO ELECTRON CS500 est un outil de lithographie puissant qui peut fournir une précision et un débit considérablement accrus dans la production de puces. Sa combinaison de systèmes avancés d'alignement et d'inspection automatique, ainsi que son actif d'exposition au faisceau de faisceau, en font un outil indispensable dans le processus moderne de production de puces.