Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269648 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment est un système automatisé intégré conçu pour répondre aux défis de la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. TEL CS500 est équipé d'un module de bande chimique qui offre des performances de bande supérieures pour enlever le revêtement photorésist des plaquettes semi-conductrices. L'unité fonctionne également comme une unité automatisée de développement et de revêtement conçue pour traiter les solutions de revêtement photorésist et de pré-revêtement avec une intervention manuelle minimale. TOKYO ELECTRON CS 500 dispose d'un écran tactile simple et convivial de fonctionnement avec un dimensionnement automatisé des plaquettes et une notification d'alarme sonore pour les perturbations de processus ou la propreté. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 est conçu pour la production à haut débit et la flexibilité avec une grande variété de configurations de décalage. La machine offre une interface graphique intuitive facile à utiliser pour les étapes de processus configurables. L'outil fournit une précision supérieure pour toutes les applications avec un échangeur de chaleur à trajectoire froide unique qui assure l'uniformité du processus et une excellente uniformité de l'épaisseur du revêtement sur toute la zone de la plaquette. De plus, le CS 500 comprend un mode de distribution chimique avancé capable de contrôler toutes les exigences de distribution, y compris les excès de rayons. TOKYO ELECTRON CS500 est conçu pour réaliser à la fois le revêtement de spin et le revêtement de spray avec jusqu'à 300 recettes de couches avancées. Il est intégré avec une manipulation multiple sans erreur pour les substrats fragiles et un positionnement fiable de haute précision pour augmenter le rendement du processus. L'actif d'autodiagnostic avancé comprend l'enregistrement complet de toutes les composantes essentielles du modèle. De plus, TEL CS 500 offre des rapports personnalisés configurables par l'utilisateur pour l'analyse automatisée des données. CS500 est un environnement de chambre très fiable qui protège la qualité des plaquettes en tirant parti d'un équipement d'épuration des gaz et de modules de filtration qui purifient l'atmosphère et protègent les surfaces des plaquettes de la contamination. Le système de ventilation avancé est conçu pour éviter les perturbations de pression qui permettent de maintenir des niveaux de vide élevés. En outre, l'unité utilise un mécanisme avancé de manutention des plaquettes qui assure un contrôle complet de la contamination des bords, avec flexibilité entre le traitement automatique des lots et le traitement des plaquettes simples. TEL/TOKYO ELECTRON CS500 fournit également des procédés de technologie de couche uniforme et de tonalité sèche sélectionnables par l'utilisateur pour obtenir une uniformité optimale des films et une perfection cristalline. En outre, les opérateurs peuvent configurer les paramètres de processus et les paramètres de configuration pour répondre au mieux aux exigences du processus. Ceci garantit un alignement parfait des plaquettes et une uniformité maximale de revêtement. Globalement, TEL CS500 Photoresist Machine est conçu pour une production flexible avec des performances supérieures. L'outil offre une précision, une répétabilité et un débit accrus. Son interface tactile intuitive et son outil d'autodiagnostic garantissent un fonctionnement facile et un contrôle efficace des processus. TOKYO ELECTRON CS 500 est une solution idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés.