Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269697
System HITACHI LE-4000A Conveyor (2) Safety systems.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance conçu pour une stabilité chimique, mécanique et thermique extrême. Le système est composé de deux composants : l'unité de photorésistance TEL CS500 elle-même, qui effectue des processus d'exposition, de développement, de pré-cuisson et de post-cuisson, et le logiciel d'accompagnement, qui permet aux utilisateurs d'ajuster la recette et les paramètres de la machine. L'outil TOKYO ELECTRON CS 500 permet l'exposition de précision et le développement de photorésists dans les installations de production de puces IC mémoire. La combinaison d'un actif d'exposition collimaté très précis et d'une unité séparée de pré-cuisson par plasma assure une excellente uniformité, répétabilité et vitesse. Un mécanisme de réglage de hauteur fileté fin assure un contrôle d'exposition de haute précision. Le modèle dispose également d'une tête de développement automatisée pour un résultat supérieur, et est équipé d'un moniteur intégré d'épaisseur de film. Le logiciel d'accompagnement fournit les moyens de contrôler et d'ajuster tous les paramètres du processus, y compris la taille du masque, la posologie d'exposition, le temps de développement et les températures avant et après cuisson en cliquant sur une souris. Les paramètres de recette peuvent être sauvegardés en mémoire et rappelés pour une utilisation future, rendant le traitement répétable avec des recettes exactes simples. L'équipement comprend également une fente optique à longue durée de vie qui fournit un nivellement très précis ainsi qu'un moniteur d'épaisseur de film pour des mesures précises. De plus, une commande électronique automatique de résistance négative est prévue pour éviter la charge de choc pendant le mouvement et les temps de lavage. Le système offre une construction compacte qui est facile à installer, et fournit un faible entretien, une faible consommation d'énergie et des niveaux de bruit réduits. Il est conçu pour fonctionner dans des environnements extrêmement durs et corrosifs et est compatible avec une variété de produits chimiques et de solvants. L'unité possède un haut niveau de stabilité chimique, mécanique et/ou thermique, le rendant apte à être utilisé dans les environnements de production les plus robustes. En conclusion, TEL CS 500 photoresist machine est un outil de haute précision, facile à utiliser qui offre une excellente uniformité et répétabilité. Ses caractéristiques et sa stabilité en font un atout idéal pour les installations de production de puces à mémoire.
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