Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269702 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance conçu pour des applications de photolithographie de haute précision. Il a un corps compact pour une installation facile dans les fabs et les salles blanches, et est capable de produire des masques et des motifs avec une excellente répétabilité et précision. TEL CS500 utilise un étage de haute précision et un système laser à balayage pour contrôler avec précision le mouvement du substrat et de la résine photosensible. Le stade a une répétabilité de 1 µm, tandis que le scanner peut répéter des motifs en mouvement avec une précision de 0,03 µm. Il est conçu pour une grande variété de substrats, y compris le verre photosensible, le GaAs, le quartz et d'autres matériaux avancés. TOKYO ELECTRON CS 500 utilise un mandrin à vide et une capacité électrostatique pour sécuriser les substrats et optimiser l'exposition. Son unité optique est conçue pour répartir uniformément la lumière et réduire les erreurs d'hétérogénéité d'intensité. L'ensemble de la machine est capable d'exposer un masque complet dans des délais aussi courts que 10 minutes, et de supporter également des motifs d'exposition pas-à-pas et un balayage continu pour les masques de grande surface. Photoresist utilisé avec CS 500 est défini précisément par l'utilisateur, permettant aux développeurs de contrôler la résolution des motifs qu'ils créent. Avec une plage d'exposition allant jusqu'à 17mJ/cm2, TOKYO ELECTRON CS500 est adapté à une grande variété d'applications. Il est capable de supporter des tailles de photomasques jusqu'à 300mm de diamètre, et dispose d'une architecture ouverte pour permettre l'intégration de systèmes supplémentaires avec TEL/TOKYO ELECTRON CS 500. CS500 est conçu avec des exigences minimales de maintenance et est interconnectable pour la surveillance et l'exploitation à distance. Il est capable de communiquer avec d'autres systèmes de lithographie TEL, permettant un meilleur contrôle des temps de production et des flux de travail. TEL CS 500 est un outil de photorésistance fiable pour des applications de photolithographie de haute précision.