Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs et microélectroniques. Il est capable de graver et de dénuder des couches de photorésist de différents substrats, dont des plaquettes de silicium, des plaquettes de quartz, des substrats OLED et plusieurs métaux. La capacité de modélisation avancée de TEL CS500 maximise l'utilisation de la résine photosensible, rendant le processus plus rapide et plus économique. TOKYO ELECTRON CS 500 dispose d'un système d'imagerie haute résolution qui est capable d'imager des caractéristiques aussi petites que 0,35 micromètres, fournissant une répétabilité précise pour les caractéristiques du circuit. L'unité optique présente également un faible indice de réfraction, ce qui signifie qu'elle peut réduire la diffraction et permettre la transmission de rayonnements plus énergétiques. Ceci donne à la machine une résolution et un débit plus élevés, conduisant à une gravure plus rapide et plus précise des circuits. Le CS 500 est équipé d'un détecteur multiplicateur post-électrons très efficace, qui permet de maximiser le rapport signal sur bruit de la photorésist. Il dispose également d'un outil de distribution laser CO2 haut débit à haute sensibilité, qui permet un fonctionnement à basse tension et réduit considérablement la pulvérisation sous rayonnement haute énergie. L'actif de livraison comprend également un détecteur d'énergie à champ plat, qui permet un traitement précis sur de grandes surfaces. TEL CS 500 dispose également d'une conception de chambre spéciale, qui aide à réduire le temps de contact pour les processus de gravure tout en maintenant un environnement à basse température. Cela permet de réduire les temps de traitement et d'améliorer la stabilité du film. CS500 comprend également une configuration unique de chambre séparée qui réduira les niveaux de contamination en évitant la contamination croisée entre la plaquette et la chambre. Enfin, TOKYO ELECTRON CS500 comprend un programme de contrôle avancé qui permet une configuration rapide et un fonctionnement facile. Le programme de contrôle est conçu pour permettre aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de traitement à la volée, en s'assurant que le processus est optimisé pour les substrats en cours de traitement. Il permet également de contrôler à distance la température de la coque et la pression de la chambre pour la précision ultime de gravure.
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