Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance utilisé pour des procédés avancés de dispositifs semi-conducteurs. Il est adapté aux besoins des fabricants de semi-conducteurs, offrant un système complet de lithographie électromagnétique. L'unité peut accueillir un large éventail de substrats, y compris des plaquettes de 8 pouces et 12 pouces, et dispose d'une machine pas à pas/scanner haute résolution. Il est également capable de loger des panneaux doubles jusqu'à des plaquettes de 18 pouces. L'outil stepper/scanner peut générer des images haute résolution avec une résolution allant jusqu'à 0,08 μ m. L'actif fournit un certain nombre de fonctionnalités pour assurer la précision et la fiabilité lors des processus de photorésistance. Cela comprend un modèle de chargement entièrement fermé et automatisé de la cassette à scanner, un module d'alignement des plaquettes sur l'axe et un équipement de manutention des plaquettes à grande vitesse. Le système comprend également un chauffage à chaud avancé, qui permet le contrôle de la température et l'uniformité thermique, et une architecture de contrôle hautement intégrée, pour faciliter la configuration et la gestion des processus. L'unité optique est composée d'une variété de composants, dont une machine d'éclairage de grande puissance, un réseau de phase avancé et un coupleur de champ. L'outil d'éclairage, en particulier, a un rendement lumineux élevé, permettant une impression de motif de haute précision avec une bonne profondeur de mise au point. L'actif peut traiter un large éventail de substrats et de matériaux photorésistants. Il est compatible avec les systèmes de lithographie i-line et KrF standard, et est équipé d'un modèle de revêtement de résistance à la vapeur chimique (CVD). Dans le cadre du processus de revêtement de résines, l'équipement comprend un contrôle des parois latérales, une étape importante qui est nécessaire pour un traitement précis. Le système dispose également de logiciels avancés, permettant une gestion facile et la traçabilité de chaque étape du processus. Le logiciel permet d'établir, de traiter et de surveiller les paramètres avec une interface graphique simple et conviviale. Dans l'ensemble, TEL CS500 photorésist est un outil avancé et polyvalent pour les procédés avancés de dispositifs semi-conducteurs. Sa machine pas à pas/scanner haute résolution, l'éclairage avancé, CVD résister au revêtement et un logiciel complet et convivial en font un excellent choix pour les fabricants à la recherche de précision et de fiabilité lors de la réalisation de processus photorésist.