Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance de pointe capable de réaliser à la fois des photolithographies à haute résolution et des gravures à sec. Le système est conçu pour fournir une modélisation précise des géométries de sous-micromètres qui sont ensuite utilisées dans la création de dispositifs microélectroniques intégrés. L'unité dispose d'une chambre avec un mandrin électrostatique amovible pour la planarisation et le brassage. A l'intérieur de la machine se trouve un bloc composé d'un matériau résineux et d'un substrat spécialisé. Le mandrin électrostatique lévite le bloc et contrôle précisément la plaquette en vitesse et en position. Pour effectuer des lithographies, TEL CS500 utilise une source lumineuse avancée à haute résolution, telle qu'un laser excimère KrF ou ArF. Ceci est utilisé pour créer l'image de projection sur la résistance par masquage ou photomasque intégré. Au cours de ce processus, le rayonnement UV interagit avec la résistance, créant une image qui répond selon la structure du masque. Après l'étape de lithographie, l'outil utilise un générateur de biais dorsal dynamique pour les applications de gravure sèche. Cette caractéristique utilise une alimentation pour générer une polarisation par onde carrée chargée négativement, qui est appliquée en différents points de la plaquette. Avec ce biais, l'actif peut graver des motifs dans le matériau de résistance. De plus, TOKYO ELECTRON CS 500 possède également un environnement contrôlé en température qui permet de réaliser des procédés à différentes températures. Ceci permet d'optimiser la résolution du dispositif afin d'obtenir les résultats escomptés. En plus de ses capacités de lithographie et de gravure haute résolution, TEL CS 500 dispose également d'un outil d'inspection en ligne qui permet la surveillance à la volée de la structure de l'appareil. Ceci permet un réglage immédiat des procédés afin de réaliser un dispositif plus précis. Enfin, le modèle est équipé d'une interface conviviale, qui permet une surveillance et un contrôle précis de tous les processus. Cela contribue à rendre l'ensemble du processus plus lisse et plus efficace. CS500 est donc un outil puissant pour tout besoin avancé de photolithographie et de gravure à sec.