Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9293647 à vendre en France
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ID: 9293647
Style Vintage: 1997
Coater / (2) Developer system
For LCD flat panel display manufacture
Track runs Gen 2 (370 mm x 470 mm) panels
Handle (4) cassettes
(3) Robots and transfer stations
SCR / (4) Cools / (7) L Ovens / HMDS
Glass substrate:
Min: 300 mm x 400 mm
Max: 400 mm x 500 mm
Module includes:
(7) Hot plates
(4) Chill plates
HMDS Vapor prime
Megasonic scrubber
Edge bead remover
Specification:
Main controller: NEC 98" Series
Loader / Unloader: (4) Uni-cassettes
(4) Spin coater heads (Coater / (2) Developer / SCR)
Coater unit specification:
Function for one coater head:
Coater cup: Standard cup
Photo resist line: (2) Nozzles
Back side rinse
RRC Fuction
P/R Drain:
Local drain 10L tank
Drain tank with pump
P/R Supply allocation: Bottle / Nozzle
Standard function:
Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
Solvent supply:
(5) Gal canisters
(2) Tanks auto change (Local supply)
DEV Unit specification:
Function for developer unit:
DEV Cup: TEL Standard cup
DEV Line: Nozzle for etch unit
Back side rinse
Top rinse function
EV Drain: Facility drain
DEV Supply allocation: Supply from facility with 200 liter tank
CS500 Standard function cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
SCR Unit specification:
Function for SCR unit:
SCR Cup: Standard cup
Dl Line: Nozzle for etch unit with mega-sonic
Back side rinse
Top rinse function
D.I Drain: Facility drain
CS500 Standard function: Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
1997 vintage.
L'équipement TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un système de photorésistance avancé destiné à la fabrication de semi-conducteurs, de circuits intégrés et d'autres composants microélectroniques. Il est conçu pour relier harmonieusement les outils de fabrication existants, ce qui en fait l'un des systèmes photorésistants les plus rentables disponibles. Au cœur de TEL/TOKYO ELECTORN TEL CS500 se trouve son unité de chambre haute efficacité, de taille moyenne. L'utilisation d'une machine à chambres de taille moyenne et haut de gamme lui permet de fonctionner avec un niveau de performance constant et de contrôler avec précision tous les paramètres du processus. Cela permet des résultats fiables et répétables tout au long du processus. TOKYO ELECTRON CS 500 utilise une variété de technologies pour assurer la plus grande précision dans les étapes et les répétitions des processus, y compris la lithographie optique, la copie électrochimique et le traitement des gravures humides. Ce niveau de précision est essentiel pour réaliser des microcircuits fiables avec des rendements élevés. En outre, cet outil est capable de réaliser une exposition sans ombre de haute précision. Une exposition sans ombre est primordiale pour s'assurer que le produit fini est une réplique parfaitement précise du motif source. CS 500 met en œuvre l'utilisation de composants optiques spéciaux pour contrôler davantage la saturation de la lumière, ainsi que des programmes conçus pour des processus complexes et des traitements en couches minces. L'ensemble du processus est contrôlé à partir de la console de traitement principale, qui est située à proximité du matériel et contient tous les contrôles de processus nécessaires pour l'opérateur. Cet atout est convivial, car il peut être rapidement et facilement mis en place pour minimiser les temps d'arrêt et augmenter les niveaux de production. CS500 est un modèle photorésist incroyablement fiable et efficace, parfait pour fabriquer des microcircuits de haute qualité. Il offre une large gamme de capacités de processus, ce qui en fait le choix idéal pour tout projet de fabrication de haute précision.
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