Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9411463 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance qui utilise une source lumineuse pour éliminer sélectivement la résistance du matériau photorésist lors du processus de fabrication du dispositif semi-conducteur. Il utilise une source de lumière ultraviolette haute résolution d'une longueur d'onde de 365nm. La source lumineuse est couplée avec un système de contrôle de haute précision et un mécanisme de revêtement pour assurer que la résine photosensible est appliquée dans une épaisseur uniforme. La source lumineuse illumine le film photorésiste, qui est ensuite exposé à une lumière ultraviolette. La lumière ultraviolette transfère l'image de la source lumineuse vers le film photorésiste. Au fur et à mesure de l'exposition du film de résine photosensible, les zones exposées sont éliminées sélectivement tandis que les zones non exposées restent intactes. TEL CS500 dispose également de capacités d'alignement des motifs qui permettent l'alignement précis des motifs sur le film photorésist. Grâce à son unité de positionnement précise, TOKYO ELECTRON CS 500 peut diriger avec précision la source lumineuse vers les zones appropriées du film photorésistant. Cette capacité d'alignement permet un positionnement précis du motif avec une précision de sous-micron. CS500 comprend également une machine de durcissement pour assurer une réticulation uniforme entre le matériau photorésist et le substrat sous-jacent. Cette réticulation permet au photorésist de rester intact tout au long du processus de fabrication du dispositif et assure que toutes les tâches de motif peuvent être transférées de manière fiable et reproductible du film de photorésist sur le substrat sous-jacent. En combinant une source lumineuse précise avec ses capacités d'alignement avancées, TEL CS 500 est en mesure d'enlever avec précision et fiabilité le matériau photorésist avec un minimum de distorsion et de contamination. Cela permet à TEL de produire des appareils de haute précision avec d'excellentes performances. De plus, ses capacités d'alignement, son outil de durcissement et sa conception globale des actifs font de TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 un choix idéal pour une variété de procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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