Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 est un équipement de photorésistance conçu pour la photolithographie haute précision et haute efficacité. Le système utilise des principes de production avancés pour les industries des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de la fabrication de disques. TEL CS500 est équipé d'une commande de mouvement pas à pas assistée par spin de champ de 325 mm, permettant des avancées précises et rapides dans la gamme de longueurs d'onde comprise entre 248 et 419 nm. L'unité comprend également un obturateur spécial piloté par NIR, permettant des rendements de résolution plus élevés et moins d'étapes de processus. TOKYO ELECTRON CS 500 utilise une conception à deux lentilles, avec un objectif VIS/NIR et un objectif UV. L'objectif UV est à la fois la fibre de carbone corrigée et la fibre de verre corrigée. Les lentilles de la machine ont une ouverture numérique totale de 0,90 (NA) pour assurer une imagerie haute performance. Avec sa lampe visuelle, TOKYO ELECTRON CS500 permet de reconnaître automatiquement le motif du masque même avec une petite taille minimale, réduisant considérablement le besoin de réglages manuels. Avec l'aide de l'outil de mesure de la planéité à double voie et de la scatterométrie côte à côte, TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 peut surveiller avec précision les résultats au cours du processus. CS500 dispose également d'un nouveau polariseur durci, permettant un réglage précis de la direction d'imagerie ou d'éclairage dans des conditions de fonctionnement extrêmes. On réduit ainsi la perte de performance des éléments de polarisation, ce qui améliore l'homogénéité et la suppression des torchères. TEL CS 500 intègre une commande de mouvement précise avec un étage en boucle fermée, qui dispose d'un capteur de position haute résolution qui fournit une rétroaction complète et précise pour le balayage de la cible. Cela permet non seulement d'améliorer la précision de positionnement, mais aussi de garantir un meilleur débit et une meilleure performance du processus. L'actif est équipé d'une interface homme-machine (HMI) conviviale, ce qui le rend facile à utiliser et à personnaliser les processus. Le HMI est également équipé d'un modèle d'enregistrement des données, permettant le suivi et la recherche sécurisés et traçables des résultats des processus. Le CS 500 fournit des résultats précis et reproductibles en matière de résines photosensibles, ce qui réduit la perte de rendement de l'imagerie, améliore la stabilité du procédé, augmente le débit et améliore la satisfaction des clients en matière de service. Avec sa combinaison de technologies d'imagerie avancées et de procédés, l'équipement est un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs de précision.