Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ECC2 #293808145 à vendre en France

ID: 293808145
Controller CPPI MC Rack plus P/N: 2L80-003325-12.
TEL (TEL/TOKYO ELECTRON ECC2) est un équipement de traitement de photorésistance de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de photolithographie. La photolithographie est une technique fondamentale utilisée pour transférer des motifs sur des plaquettes semi-conductrices, jouant un rôle crucial dans la fabrication de circuits intégrés. TEL ECC2 est conçu par TOKYO ELECTRON, un des principaux fournisseurs d'équipements de fabrication de semi-conducteurs. L'unité intègre des technologies de pointe pour obtenir un traitement précis et efficace de la résine photosensible, assurant une précision et une répétabilité élevées dans le transfert de motifs. L'acronyme TOKYO ELECTRON ECC2 signifie « cluster de coaxiaux à commande électronique », mettant l'accent sur les capacités de contrôle électronique de la machine pour le revêtement de matériaux photorésistants. Au cœur d'outil ECC2 est le module de traitement photoopposer, qui se compose de plusieurs composantes clés. L'actif comporte une unité de grappe de revêtement chargée d'appliquer une couche uniforme de matériau photorésist sur le substrat semi-conducteur. Ce procédé est essentiel pour assurer la réplication précise des motifs lors des étapes ultérieures du processus de fabrication des semi-conducteurs. L'un des points forts du modèle TEL/TOKYO ELECTRON ECC2 est sa capacité de commande électronique, qui permet un réglage précis des paramètres de revêtement tels que la vitesse de rotation, le volume de distribution et le temps de rotation. Ce niveau de contrôle assure l'uniformité de l'épaisseur de la couche de résine photosensible, conduisant à des résultats constants de mise en oeuvre sur la plaquette semi-conductrice. En outre, l'équipement TEL ECC2 intègre des mécanismes de surveillance et de rétroaction avancés pour optimiser les performances des revêtements. Des outils de métrologie en ligne sont utilisés pour mesurer l'épaisseur et l'uniformité de la couche de photorésist en temps réel, fournissant des données précieuses pour le contrôle et l'optimisation des processus. En surveillant et ajustant en permanence les paramètres de revêtement, le système peut atteindre des niveaux élevés de précision et de reproductibilité dans le transfert de motifs. En plus de ses capacités de revêtement, TOKYO ELECTRON ECC2 intègre également une gamme de fonctionnalités pour améliorer la productivité et l'efficacité dans le traitement des résines photosensibles. La machine est conçue pour des opérations à haut débit, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre des vitesses de traitement rapides sans compromettre la qualité. En automatisant les processus clés et en minimisant les interventions manuelles, ECC2 outil simplifie les flux de traitement des photorésistances et réduit le risque d'erreurs humaines. Une autre caractéristique notable de TEL/TOKYO ELECTRON ECC2 est sa compatibilité avec une large gamme de matériaux photorésistants couramment utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Le modèle peut accueillir différents types de photorésistes avec des viscosités variables, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de s'adapter à diverses exigences de processus et de noeuds technologiques. Cette flexibilité fait de l'équipement TEL ECC2 une solution polyvalente pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Dans l'ensemble, le système TOKYO ELECTRON ECC2 représente une solution de pointe pour le traitement des photorésistances dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec ses capacités de contrôle électronique, ses outils de surveillance avancés, sa conception à haut débit et sa compatibilité avec divers matériaux photorésistants, ECC2 unit offre aux fabricants de semi-conducteurs une plate-forme fiable et efficace pour obtenir des résultats précis dans la fabrication de circuits intégrés avancés.
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