Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON i + est un équipement de photorésistance conçu pour la lithographie à semi-conducteur. Le système fournit des composants d'imagerie optique précis pour permettre des processus professionnels de revêtement de plaquettes pour une micro-fabrication cohérente de circuits semi-conducteurs. L'unité est conçue pour donner des performances plus cohérentes dans l'étape critique de la microfabrication. La machine a deux composants clés, un composant principal et l'outil d'imagerie optique. Le composant principal permet un revêtement rapide et précis des plaquettes tandis que l'actif d'imagerie optique contrôle les propriétés optiques pour assurer une couverture de film cohérente. Le modèle d'imagerie optique comprend trois modules distincts ; le module de source lumineuse, le module d'écriture de longueur et le module de contrôle de faisceau. Le module Source de lumière est chargé de produire la lumière utilisée dans le processus de lithographie, fournissant une source de lumière statique et une commande d'ouverture motorisée pour agrandir ou réduire la surface de la lumière pour correspondre à la technique d'ingénierie du modèle. Le module d'écriture de longueur est chargé de fournir une explication précise du profil d'exposition à suivre, ce qui est utilisé pour éviter les plaquettes surexposées et peut réduire le besoin de réglage fin ou de correction. Le module de contrôle du faisceau est chargé de contrôler la largeur de fente et l'intensité du faisceau pour correspondre à la profondeur du motif ou étendre le foyer de la lumière avec une précision maximale. En outre, l'équipement a le composant Node qui est essentiel pour la précision du processus. Ce composant permet à l'opérateur de contrôler la puissance du système et de surveiller l'état de l'unité pour produire des plaquettes de qualité. Enfin, l'unité de transfert de motifs est le composant responsable du téléchargement et de l'enregistrement des motifs à partir de la source, les rendant facilement accessibles pour être exposés. Dans l'ensemble, TEL Metrous i + est une excellente machine photorésist avec une large gamme de caractéristiques pour garantir des résultats précis et de haute qualité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Son intégration facile au processus réduit le besoin d'intervention manuelle tandis que ses composants fiables augmentent le rendement des plaquettes. L'outil fournit un niveau de précision pour le développement de produits qui aurait été auparavant inimaginable.
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