Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9171607 à vendre en France
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ID: 9171607
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Coater / Developer system, 12"
Model no: T&H-ME1-4AAZAZZ-01
Wafer type: Notch
Wafer material: Si
Signal tower: ETC (4) Lamps
On-line interface: SECS II / GEM
In-line: Yes
Make: NIKON
Model: NSR
Main controller: Version 4
Layout type: IFB, PSB, CSB (Touch)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON i + est un équipement de photorésistance conçu pour fournir un processus lithographique précis et efficace dans la microfabrication des dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour assurer le plus haut niveau possible de précision et de production dans la fabrication de dispositifs à l'échelle du millimètre et du nanomètre. Le système est construit autour d'une cellule litho qui se compose d'un obturateur, lentille et source de faisceau d'exposition, chacun avec des commandes numériques. L'obturateur est un actionneur piézo avancé, commandé par un contrôleur pour assurer un positionnement et une exposition optimaux. L'objectif fournit une optique d'imagerie diffractive à haute résolution pour la fixation sur une plaquette. La proximité de la lentille avec la plaquette assure une géométrie haute résolution pour le processus lithographique. La source du faisceau d'exposition est un laser qui utilise l'optique numérique et les modèles optiques pour fournir le modèle optimal sur la surface de la plaquette. L'unité dispose d'une source laser à impulsions courtes focalisée qui est utilisée pour créer des motifs à haute résolution, que ce soit pour la microfabrication de plaquettes ou pour des matériaux écrits directement au laser. Cette source laser focalisée et à impulsion courte est idéale pour de nombreuses applications, y compris les modifications aux fonctionnalités existantes sur une plaquette, la création de nouvelles fonctionnalités, et une large gamme d'applications qui nécessitent une précision lithographique. La source est capable de projeter une image sur une variété de matériaux sans distorsion ou endommagement, fournissant un large éventail de capacités lithographiques de manière efficace. La machine comprend également un certain nombre d'autres composants qui permettent une capacité de production efficace. Ces composants comprennent la manipulation automatique des cassettes de substrat, ainsi qu'une capacité de focalisation automatique facilement programmable. Le focus automatique garantit que chaque plaquette est exposée et modelée avec une précision optimale. La plate-forme de contrôle est une interface utilisateur sophistiquée qui est conçue pour être très intuitive et conviviale, rendant l'outil capable de nombreuses tâches complexes, y compris des expositions multiples, le développement de recettes multiples, et le comptage des composants. L'actif comprend également une variété de capacités de traçabilité, y compris l'alignement post-exposition, le suivi et la correction de la page de guerre des plaquettes à grande vitesse. Cela permet d'utiliser le modèle avec même les calendriers de production les plus exigeants. TEL Metrous i + est un équipement de photorésistance avancé qui fournit des solutions lithographiques efficaces avec une précision inégalée. La gamme de composants, les fonctionnalités automatisées et les options de traçabilité garantissent que le système peut être utilisé pour une grande variété d'applications et d'exigences de production.
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