Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9198142 à vendre en France
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ID: 9198142
(5) Coaters / (5) Developers system
Accessory box
AC Power box
Spin box
IFBM Box
Cable card
(2) THC
(4) HPB Tower
(4) FFU
(2) HPB Boxes.
TEL/TOKYO ELECTRON i + Photoresist Equipment est un système complet utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un dépôt précis et répétable de films photorésistants d'épaisseur micrométrique couche par couche qui conduisent à des plaquettes de haute qualité et à la mort. L'unité de photorésistance est composée de la chambre de dépôt, du banc humide, du viseur optique, de cinq alimentations et d'un module de commande informatique. La chambre de dépôt est la partie principale de la machine. Il utilise une technologie de « trempage » pour déposer avec précision un film photorésist uniforme. Il dispose également d'une fenêtre de visualisation avec un vide intégré pour surveiller le processus de revêtement. Le banc humide contient les solutions et les cuves de rinçage pour le processus de dépôt. Il dispose également d'une pompe de rinçage du film de résine photosensible pendant le processus de dépôt. L'outil est équipé de cinq alimentations distinctes pour fournir l'énergie nécessaire au processus de dépôt. Il comporte deux générateurs haute fréquence pour l'application de revêtement résistif et trois générateurs basse fréquence pour le nivellement du film résistif. L'alimentation comprend également un convertisseur analogique-numérique pour réduire le niveau d'interférence des champs électriques parasites. Enfin, TEL Metrous i + Photoresist Asset est adossé à un module de contrôle informatique. Ce module permet un étalonnage facile et la prévention des erreurs au cours du processus de dépôt. Il peut également suivre l'ensemble du processus à l'aide de données et de rétroaction en temps réel afin de mieux contrôler le processus de dépôt. En conclusion, TOKYO ELECTRON, le modèle i + photorésist est un équipement fiable et précis qui permet la production efficace de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il est doté d'un procédé de dépôt efficace utilisant la technologie du trempage, de cinq alimentations et d'un module de contrôle informatique pour un étalonnage et une surveillance faciles.
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