Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293815848 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) Le Pro-I est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés avancés de lithographie. Il permet un profilage photorésist très précis qui répond aux besoins exigeants des caractéristiques de sous-50nm et de la fabrication de semi-conducteurs à noeuds avancés. Le système dispose d'un débit élevé de 4x8 "standard, ultra haute résolution pour supporter une large gamme de photorésistes optiques avancés, et des options d'imagerie à plusieurs longueurs d'onde pour supporter des substrats avec des caractéristiques optiques différentes. L'unité Pro-I offre une gamme de capacités de processus et de technologie d'imagerie avancée pour répondre aux exigences des principales fonderies. Il est doté d'une linéarité ultra élevée, d'une correction dynamique du mouvement et de l'alignement, d'une excellente non-uniformité, d'un réglage dynamique de la focale et d'une superposition précise sans étalonnage préalable. Il supporte également la manipulation automatisée de substrat avec une piste flexible, permettant le traitement de photorésist et d'autres matériaux à couches multiples. Avec ses capacités d'interférométrie avancées, il peut précisément aligner le masque sur le substrat tout en conservant le plus haut niveau de précision. En outre, sa correction d'aberration intégrée assure la précision du profil et l'imagerie haute résolution avec une collection individuelle de compensateurs. Le Pro-I dispose également d'une gamme d'options logicielles et matérielles. Les capacités d'automatisation, les modèles logiciels et l'interface utilisateur permettent à l'utilisateur de personnaliser l'outil pour leurs besoins. Il supporte également des techniques avancées, telles que l'OAD à haute dose pour permettre l'impression de fonctionnalités au-delà de la limite de taille de 0,3 micron, et la lithographie de faisceau d'électrons pour la micromachination détaillée. De plus, le Pro-I s'intègre à d'autres processus TEL, tels que la série Aligner, pour faciliter l'installation et le fonctionnement de la machine. Avec l'analyse d'image intégrée et l'exposition automatique, il peut identifier et transférer avec précision les photomasques avant et après le traitement. Il dispose également d'un environnement d'exécution python puissant et d'un logiciel de post-traitement pour le flux de travail automatisé. TEL Metrous Pro-I est la solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs ayant des exigences avancées. Il permet des processus complexes de photorésistance avec une grande précision, tout en fournissant une gamme d'automatisation personnalisable et d'outils logiciels.