Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON), est un équipement de photorésistance conçu pour assurer l'imagerie lithographique, le développement de films et le nettoyage de surfaces d'un large éventail de substrats. Il est idéal pour la fabrication de circuits intégrés, MEMS, stockage de données et autres dispositifs microélectroniques de précision. Le Pro-I se compose de trois grands systèmes : le système principal, la boîte à gaz et l'unité de nettoyage de surface. La machine principale contient une source de lumière ultraviolette (UV), un stepper/scanner pour l'imagerie, et un étage de vide pour la manipulation du substrat. Il fournit également la pulsation d'exposition, la synchronisation des foyers et la sélection des filtres. La boîte à gaz offre les gaz nécessaires pour la cuisson des photorésistances, le pré-refroidissement, la gravure et le post-refroidissement. L'outil de nettoyage de surface offre un procédé de nettoyage sans brosse à base de plasma. Le Pro-I est capable d'imager jusqu'à 25mm. Son actif de focalisation est conçu pour maintenir une résolution de < ± 1,0 μ m et un débit de 16MHz. Il peut traiter des substrats d'une épaisseur allant jusqu'à 0,5 m. La source de lumière UV du Pro-I peut être utilisée pour modeler des caractéristiques aussi petites que 0,5 μ m avec une épaisseur maximale de couche allant jusqu'à 1,5 μ m. Le Pro-I offre également des fonctionnalités en option, y compris la commande automatique de transmission (ATC), un générateur de forme d'onde, le chauffage diélectrique du suscepteur, et une gamme de têtes d'exposition pour une utilisation avec différentes longueurs d'onde UV. Il a un modèle de manutention chimique qui réduit la quantité de matières dangereuses utilisées et recycle les produits chimiques pour réutilisation. Il offre également une option avancée de bossage de plaquettes pour supporter différents types de bossages. Le Pro-I est un équipement entièrement configurable, robuste et fiable conçu pour répondre aux normes les plus élevées en matière d'imagerie lithographique et de nettoyage. Il est facile à utiliser et offre d'excellents rendements, une répétabilité et un haut degré d'automatisation. C'est un outil fiable et rentable pour fabriquer une gamme de dispositifs microélectroniques sur une variété de substrats.