Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955 à vendre en France
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Vendu
ID: 9292955
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
(4) Coater / (8) Developer system, 12"
CIM: SECS, GEM
Process: 193 nm Immersion
(4) BCT BARC Coaters
(4) ITC
(12) CSWP
(6) CGRA
(4) CADH
(12) CPRP
(5) CHHA
(12) SCPL
WEE
BWEE
(16) FOUPs
Fire suppression
Power box
SHINWA Temperature and Humidity
(2) Chemical cabinets (Solvent, developer)
Handler system:
(4) PRA
CRA
PRAI
IRAI
(2) MPRA
Options:
WISC
WISD
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON (Tel/Tokyo Electron Pro V) est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des capacités de lithographie avancées pour un large éventail d'applications, y compris la microélectronique, la fabrication de semi-conducteurs et de plaquettes. Le système utilise une unité optomécanique très précise avec une source lumineuse, des lentilles et une phase de déplacement automatisée pour optimiser les volumes de plaquettes et de nanofabrication. Contrairement aux systèmes de scanners pas à pas classiques, TEL Metrous Pro V utilise un algorithme piloté par ordinateur pour déterminer le positionnement exact des plaquettes, des lentilles et de la source lumineuse pendant le prérequis. Cela permet des précisions énormes dans les largeurs et les hauteurs de ligne et est très efficace dans la production d'angles structurés et de lignes épaisses. La machine de TOKYO ELECTRON OVINE US intègre une large gamme de fonctionnalités logicielles et matérielles, y compris un concept complet d'alignement de superposition, des simulations et un contrôle lithographiques avancés, et un moteur de traitement d'image haute performance. L'outil comprend également une gamme d'accessoires de base, tels qu'une source lumineuse, une chambre à vide et une console de fonctionnement conviviale. Afin d'assurer une performance optimale de l'actif TEL/TOKYO ELECTRON OVINE US, divers paramètres, tels que l'énergie d'exposition, la précision de l'alignement des superpositions et la séquence d'exposition, sont réglables et sont contrôlés par un processus sophistiqué qui comprend l'intégration d'une interface graphique conviviale, la modélisation automatisée et la simulation de lithographie avancée. En utilisant le modèle PROV TEL, les clients profitent de rendements de lithographie améliorés, d'une durée de cycle réduite et d'une meilleure qualité de produit. L'équipement est également capable de corrections automatiques d'alignement, de cuisson accélérée et de durcissement, ainsi que de modelage précis pour des dispositifs de haute précision, tels que des dispositifs logiques et de mémoire haute performance. De plus, les clients du système de protection Pro V peuvent profiter d'un temps prolongé de développement de la lumière du jour car une exposition fournit des petites installations spécifiques aux couches. Grâce à sa précision améliorée, l'unité PROV US offre également un haut degré de flexibilité de conception ; permettre aux clients de produire une gamme de dessins lithographiques même sur leurs dessins les plus complexes. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON Pro V) est une photorésistante de pointe conçue pour fournir aux clients la précision et la précision dont ils ont besoin pour créer des produits hautement complexes et de haute qualité en une fraction du temps et du coût.
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